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2000度实验室高温真空炉

STR-CSF12-20 是一款面向高校、科研院所及企业研发中心设计的小型石墨电阻加热炉,额定温度 2000 ℃,炉膛有效容积 12 L,适用于 高纯惰性或还原气氛 下的材料烧结、热处理、热压扩散及小型热分析实验。设备采用 石墨发热体 + 石墨毡保温层 + 不锈钢水冷壳体 的模块化结构,具备升温快、温场均匀、能耗低、占地小(<0.35 m²)等特点,可无缝接入实验室通风柜或手套箱系统。


2. 遵循/参考标准

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类别 标准号 标准名称
通用安全 GB 5959.1-2019 电热装置安全 第1部分:通用要求
高温炉 GB/T 10067.1-2019 电热装置基本技术条件 第1部分:通用部分
真空/气氛 GB/T 11164-2011 真空电阻炉
石墨材料 JB/T 8133.6-2013 高纯石墨制品 电阻率测试方法
计量校准 JJF 1101-2019 环境试验设备温度、湿度参数校准规范
出口包装 ISPM 15 国际贸易木质包装材料管理准则

3. 设计用途

应用领域 典型工艺
先进陶瓷 SiC、B₄C、AlN 无压烧结
粉末冶金 高比重合金、硬质合金脱脂-烧结一体化
核材料 石墨包覆燃料颗粒高温除气
半导体 高纯硅、碳化硅晶体退火
实验室教学 材料热分析、相图研究、热扩散系数测定

4. 工作原理

  1. 发热机制:石墨元件在通电后产生焦耳热,其电阻温度系数呈负相关,需采用 恒功率+限流双闭环 控制,防止低温段过流。
  2. 温场形成:圆角矩形马弗结构 + 五面加热(左右、上下、后)形成 ±5 ℃/200 mm 的均温区,符合 ASTM C862 对均温性测试要求。
  3. 气氛控制:炉壳与炉管间设置 0.5 mm 微正压氮气幕,抑制外部空气渗入;可选配真空 系统,用于高温除氧。
  4. 热防护:三层梯度保温——石墨硬毡(耐温 2200 ℃)+ 石墨软毡(导热系数 0.08 W·m⁻¹·K⁻¹)+ 氧化铝纤维(外层 <150 ℃),壳体表面温升 ≤35 K(GB 5959.1)。

5. 主要技术参数

项目 规格值 备注/测试条件
额定温度 2000 ℃ 在 Ar 气氛,热偶+红外双验证
极限温度 2050 ℃ ≤30 min 短时考核,无负载
炉膛尺寸 W200×H200×D300 mm 有效容积 12 L
均温区 150×150×200 mm ±5 ℃,九点测温
升温速率 0-15 ℃·min⁻¹ 可设 1600 ℃以上速率自动限幅 8 ℃·min⁻¹
控温精度 ±1 ℃ PID 自整定,带神经元网络补偿
电源 380 V±10 %,50 Hz,三相五线 额定功率 12 kW
真空度(可选) 6.7×10⁻¹ Pa / 4.5×10⁻³ Torr 机械泵+罗茨泵
气氛 Ar、N₂、He、H₂(≤3 %) 质量流量计 200 sccm-5 SLM
冷却水 0.2-0.4 MPa,≥6 L·min⁻¹ 壳体、电极、密封圈三路独立
外形/重量 950×950×1500 mm / ≈120 kg 含 100 mm 高脚轮,可进电梯

6. 标准配置清单

序号 名称 数量 关键规格
1 炉体主机 1 石墨五面加热、水冷 304 不锈钢壳
2 温度控制柜 1 7" 触摸屏,PID 分段程序 32 段
3 热电偶 2 WRe5/26,陶瓷护管 Φ6×300 mm
4 红外测温仪(备用) 1 600-2300 ℃,可调发射率 0.1-1.0
5 石墨坩埚 2 高纯 99.995 %,Φ80×100 mm
6 氧化铝垫板 2 99 % Al₂O₃,厚 10 mm
7 惰性气路组件 1 减压阀、流量计、φ6 不锈钢管
8 水冷机(外置) 1 风冷,3 kW 制冷量,去离子水箱 15 L
9 工具包 1 高温手套、坩埚钳、石墨清洁剂
10 技术文件 1 套 说明书、出厂报告、计量证书、图纸



结构特点(模块级)

1 、加热模块

石墨元件:等静压成型,密度 1.85 g·cm-3,电阻率 9-11 μΩ·m,寿命 ≥200 炉次(以 1800 ℃保温 2 h 为 1 炉次)。

电极结构:水冷铜排 + 石墨锥套,锥角 6°,接触电阻 <0.1 mΩ,可快速拆卸(≤3 min)。

2 、保温模块

硬毡内胆:30 mm 厚,CNC 一体铣削,无拼接缝,减少热桥。

软毡中层:50 mm 厚,错缝搭接,压缩量 ≤5 %,可单独更换。

3、 气氛/真空模块

炉门密封:双层氟橡胶 O-ring + 不锈钢波纹管,耐温 250 ℃,可在线更换。

压力监测:0-1 MPa 绝压变送器,与电磁阀联动,超压自动放气。

4 、控制模块

PLC:西门子 S7-200 SMART,MTBF ≥50 000 h。

电力调整器:三相全控晶闸管,带过流、缺相、超温硬件连锁

易损件与寿命表

名称 单次寿命
石墨加热体 200 炉次
石墨硬毡内胆 400 炉次
氟橡胶 O-ring 100 炉次
WRe 热电偶 50 炉次(>1800 ℃)
水冷机滤芯 3 个月

包装与运输

尺寸/重量 包装方式 内部固定 运输标识
主机 ≤1 m³,120 kg 胶合板熏蒸木箱 9 mm,ISPM 15 标识 防震泡沫 + M12 螺栓紧固 向上、防潮、易碎、重心
控制柜 ≤30 kg 五层瓦楞纸箱 + 护角 珍珠棉 20 mm 向上、防雨
水冷机 ≤50 kg 简易拉伸膜 + 编织袋 托盘打包带 向上、防淋

使用注意事项

升温曲线:

室温-1000 ℃ ≤15 ℃·min-1;

1000-1600 ℃ ≤10 ℃·min-1;

1600-2000 ℃ ≤8 ℃·min-1;

严禁超速率运行,防止石墨元件热应力断裂。

气氛要求:

氧气 ≤10 ppm,建议先抽真空至 ≤10 Pa 再回填惰性气;

氢气比例 >3 % 需增配氢报警器与点火装置。

冷却水:

进水温度 5-30 ℃,电导率 ≤50 μS·cm?1,防止电极结垢;

断水报警延迟 ≤5 s,否则石墨元件将氧化穿孔。

装料规范:

坩埚与加热体最小间距 ≥20 mm;

含挥发物样品(如沥青、树脂)必须 预烧 ≤600 ℃ 后转入本炉。

停机流程:

降温至 400 ℃ 方可关闭水冷机;

炉内温度 ≤60 ℃ 方可打开炉门,防止石墨毡遇空气自燃。


标准操作方法(SOP 简版)

开机前检查

a. 冷却水压力 0.3 MPa,流量 >6 L·min?1;

b. 惰性气瓶压力 >0.5 MPa,减压阀出口 0.05 MPa;

c. 热电偶插入深度 30 mm,无松动。

装样

a. 戴无尘手套,将样品置于石墨坩埚中心,高度 ≤80 mm;

b. 确认坩埚外壁无粉尘,防止短路。

抽真空/洗气(可选)

a. 关闭放气阀,启动机械泵,至 ≤10 Pa;

b. 回填 Ar 至常压,重复 3 次,最终微正压 0.02 MPa。

程序设定

a. 进入“工艺编辑”→ 新建 32 段程序:

段1:RT-1000 ℃,15 ℃·min?1;

段2:1000 ℃,保温 30 min;

段3:1000-1800 ℃,10 ℃·min?1;

段4:1800 ℃,保温 120 min;

段5:1800-600 ℃,-10 ℃·min?1(可启用强制冷却)。

b. 设报警偏差 ±5 ℃,输出上限 95 %。

启动运行

a. 再次确认“水路、气路、电路”三灯绿色;

b. 长按“加热启动”3 s,设备自动进入程序。

结束取样

a. 程序完成后,系统声光提示;

b. 温度 ≤60 ℃,关闭气源,打开炉门;

c. 使用坩埚钳取出样品,放入防氧化干燥箱。

记录

a. 导出 CSV 温度曲线(U 盘或云端);

b. 填写《高温炉使用记录表》,包括:工艺号、炉次、耗材更换、异常现象。




实验室真空炉规格表

型号 最高温度 (℃) 炉膛尺寸 (mm) 加热元件 加热功率 (kW) 极限真空 (Pa) 应用
STR-CSF12-20 2000 W200×H200×D300 石墨 45 6.7×10⁻2 烧结/退火/脱脂
STR-CSF12-24 2400 W200×H200×D300 石墨 50 6.7×10⁻2 烧结/退火/脱脂
STR-MSF12-20 1600 W200×H200×D300 40 6.7×10⁻³ 钎焊/烧结/退火
STR-WSF12-20 2000 W200×H200×D300 45 6.7×10⁻³ 烧结/退火

应用:高温烧结、热处理、钎焊、退火、陶瓷/金属复合材料、难熔金属、硬质合金、催化剂等研究 

典型应用

材料类型 工艺顺序 应用举例
硬质合金(WC、TiC) 脱脂 → 除气 → 烧结
氧化物陶瓷 脱脂 → 除气 → 烧结 氧化铝(Al₂O₃)、氧化锆(ZrO₂)
非氧化物陶瓷 脱脂 → 除气 → 烧结 碳化硅(SiC)、氮化硅(Si₃N₄)、氮化铝(AlN)
金属与合金 脱脂 → 除气 → 烧结
石墨材料 除气 → 提纯
当前文章:2000度实验室高温真空炉
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