全自动滑轨式双管真空管式炉\1200℃开启式滑轨双管炉
炉体采用双层壳体结构，壳体间配有风冷系统，能有效的降低炉壳表面温度。炉底以直线轨道为平台，通过智能轨道电机实现炉体自由滑动；反应区采用双石英管结构，外管直径100mm、内管直径80mm,内外两管通过双通道水冷法兰密封，形成两管之间及内管两个立的腔室，金属薄膜围绕在内管表面做为基底，前驱反应气体通过两管间隙发生CVD反应。
滑动式真空双炉用途：
滑动式真空双炉是为生长石墨烯研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。炉体采用SGM T1200开启式双管炉，炉底安装有直线滑轨，当生长结束后，左右拉动炉体能够保证有足够的空间使实验样品移出炉体，实现快速降温的要求。全自动滑轨式双管真空管式炉是生长石墨烯研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
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基本参数 |
产品型号 |
1200℃开启式滑轨双管炉 |
加热区尺寸 |
440mm恒温200mm |
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极限温度 |
1200℃ |
工作温度 |
≤1100℃ |
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石英管 |
2*60*54*1200mm |
加热温区数 |
1 |
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表面温度 |
< 60℃ |
控温精度 |
±1℃ |
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设备功率 |
4 KW |
工作电压 |
单相220V |
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| 炉管 | 双石英炉管 | ||||||||
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开门方式 |
上开启式 |
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壳体结构 |
双层，壳体间风扇制冷，可使炉体表面快速降温。 |
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节能效果 |
★ 保温时仅需40%功率 |
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数据显示模式 |
LED数显仪表
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★ 可选配豪华型智能触摸屏仪表，实时曲线显示，也可用U盘导出数据，在电脑上安装查看软件 |
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控制模式 |
智能PID调节、模糊控制、自整定功能 |
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温度曲线 |
日本岛电或厦门宇电智能温控仪表，30段可编程控制，可设置30段升降温程序 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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加热元件 |
质掺钼铁铬铝合金加热丝 环形加热，温场均匀，能耗低 升温速率建议:10℃/Min Max:20℃/Min |
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炉膛保温材料 |
1500型高纯氧化铝微晶体纤维，保温性能好 |
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电 源 线 |
标配2米 若需更长，请购买设备时提前说明，需另购 |
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真空度 |
A.若使用VP系列单级旋片机械泵+CF法兰+针型阀，则真空度可达100Pa
B.若使用2XZ系列双级旋转机械泵+KF法兰+真空球阀，则真空度可达10Pa |
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选配 |
机械真空泵 |
国产分子泵 |
分子泵 |
质量混气系统 |
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