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1400℃高真空氢气炉

1400℃高真空氢气炉是一种集“1400℃高温、10⁻³Pa级高真空、纯氢/氢-惰混合气氛”三大功能于一体的批次式热处理设备,主要用于对氧敏感、易脱碳或需还原性烧结的材料。下面把用户最关心的“结构—性能—工艺—安全”四个维度一次说清,并给出典型型号与选型要点,方便直接对比采购。

一、设备结构与工作原理

  1. 炉壳:双层304/316L水冷套,外壁<55℃,满足氢气防爆要求。
  2. 炉膛:
    • 1400℃以下常用“高纯Al₂O₃多晶纤维+钼丝/硅碳棒”三面加热;
    • 若高真空或温度偶尔冲到1500℃,选钼箔+全金属屏反射结构,获得10⁻⁴Pa高真空与<10ppm低氧。
  3. 真空机组:双级旋片泵+罗茨泵+分子泵,冷态极限6.7×10⁻⁴Pa,30min内可抽到5×10⁻³Pa以下。
  4. 氢路系统:
    • 进气:MFC质量流量控制器,0–10L·min⁻¹可调;
    • 尾气:正压燃烧嘴或负压点火塔,带火焰检测、熄火2s内自动切断并充N₂。
  5. 控制:PLC+触摸屏,30段可编程,PID控温精度±1℃,带升温速率限制、断偶、超温、过流联锁。
原理:先抽真空脱吸附氧→充氢形成还原气氛→程序升温到1400℃,氢与表面氧化物反应生成H₂O并被真空带走,实现“洁净烧结/钎焊/退火”

二、主要技术参数(以市场主流1400℃机型为例)

项目 指标
最高温度 1400℃(短时1450℃)
恒温区温差 ±5℃(600mm长)
冷态极限真空 6.7×10⁻⁴Pa
升温速率 1–15℃·min⁻¹可设
炉膛有效尺寸 200×200×300mm~400×400×600mm可选
加热功率 18–36kW
控温精度 ±1℃
氢气压力 0.05–0.15MPa(正压烧结)
冷却水 0.2–0.3MPa,2–4m³·h⁻¹

三、典型工艺应用

  • 粉末冶金:钨-铜、钼-铜高比重合金脱脂-烧结一体;
  • 3D打印金属:316L、Ti-6Al-4V件去氧、除碳;
  • 电子/光学陶瓷:AIN、BeO基板在<5ppm O₂下无压烧结;
  • 贵金属:铂、铑、铼回收料的氢还原与退火;
  • 钎焊/扩散焊:不锈钢-陶瓷、钨-铜等异种材料高真空钎焊。

四、安全与认证

  1. 防爆:炉体按GB3836、ATEX隔爆要求设计,带爆破片+防爆膜二级泄压;
  2. 气体监测:炉内氧探头+氢气检漏仪,O₂>1%或H₂泄漏>10ppm立即停氢-充氮;
  3. 燃烧排放:尾气点火塔带阻火器与UV火焰监测;
  4. 联锁:真空度未达10⁻²Pa以上拒绝开氢;温度>80℃拒绝开启炉门;
  5. 认证:出厂做氦质谱检漏<5×10⁻¹⁰Pa·m³·s⁻¹,附《氢炉防爆合格证明》。
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