旋转料台式立式炉管
旋转料台式立式炉管
适用于 4 至 8 英寸晶圆的立式炉管可以灵活地满足生产线需求。可选择处理晶圆的数量从 50 到 150 不等。该立式炉管不仅可用于低温退火、氮化物 (Si3N4)、多晶硅和其他材料 LPCVD、氧化和扩散处理，还可用于 SiC 功率器件栅硅氧氮化、活化退火和其他超高温处理。
当前文章：旋转料台式立式炉管
生产厂家哪家好？ 洛阳高温箱式炉厂家供应商-洛阳赛特瑞为专业的 生产厂家，多年来致力于高温设备研发生产,积累了丰富的行业经验和技术实力。产品有高温电炉、 、真空气氛炉、气氛管式电炉、气氛烧结炉、高温真空炉、热震炉、箱式电炉等。可根据客户需求提供个性化定制解决方案。
