气氛管式实验炉
气氛管式实验炉是一种用于材料高温处理的实验室设备,可在特定气氛(如惰性、还原性、氧化性等)下进行热处理、烧结、退火、合成等实验。
结构与组成
炉管
材质:石英、刚玉(Al2O3)、不锈钢或特种陶瓷(如碳化硅),根据实验温度(可达1600℃)和气氛选择。
形状:一般为水平或垂直放置的圆管,两端配有法兰密封。
加热系统
加热元件:电阻丝(适用于≤1200℃)、硅碳棒(≤1400℃)或硅钼棒(≤1800℃)。
加热区:单温区或多温区设计,确保温度均匀性(±1~5℃)。
温度控制系统
采用PID控温仪和热电偶(如K型、S型、B型)实现精准控温,可编程升温/降温程序。
气氛控制系统
进气端:配备质量流量计(MFC)调节气体流量,支持惰性气体(Ar、N2)、还原性气体(H2、CO)或混合气体。
出气端:尾气处理装置(如燃烧排放、水洗塔)防止污染或爆炸风险。
密封与安全装置
法兰密封:采用O型圈或水冷法兰,确保高温下气密性。
安全保护:过温保护、压力释放阀、气体泄漏报警等。
工作原理
样品放置在炉管内的耐高温坩埚或舟皿中。
通入特定气体置换炉内空气,形成可控气氛。
加热元件升温至设定温度并保温,实现材料的热处理或化学反应。
实验结束后,自然冷却或通入保护气体加速冷却。
典型应用
材料合成:如纳米材料、陶瓷、金属氧化物的制备。
热处理:退火、淬火、渗碳/氮处理。
催化剂研究:在还原或氧化气氛中活化催化剂。
高温烧结:陶瓷、粉末冶金材料的致密化。
半导体工艺:晶片退火或薄膜沉积。
使用注意事项
安全操作
使用H2时需严格检漏,实验区域安装氢气报警器。
高温下避免骤冷骤热,防止炉管破裂。
样品放置
确保样品不堵塞气流,均匀分布以避免局部过热。
维护保养
定期清理炉管内残留物,检查加热元件老化情况。
更换密封圈,保持法兰气密性。
实验记录
记录温度曲线、气体流量和实验现象,便于重复和优化。