3路混气室
| 产品型号 | GYS-3F |
| 产品简介 | 二通道混气系统（1单独2混气），用于惰性气体的控制，适用于管式炉、手套箱、等离子清洗机、CVD系统、小型PECVD系统等 |
| 产品特点 |
- 适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。 - 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。 - 显示流量准确，可有效控制气体的消耗量。 - 设备底部有滚动轮，方便移动使用方便，无需通电。 - 内置一个不锈钢混气罐，可更好的混合气体。 |
| 混气罐 |
- 混气罐尺寸：直径76*长154mm - 背面的进气与出气口均为Φ6.35的卡套接头，进气口通过四氟管连接气瓶，出气口通过四氟管连接到设备的进气口 |
| 气口/阀门 |
- 两个通道气体进入混气罐混气，一个气体通道独立 - 前面板的四个不锈钢针阀控制气体的进出，独立通道的进出气不受针阀控制 |
| 浮子流量计量程 | 10-100mL/min、16-160mL/min、25-250mL/min; 精度：4% |
| 产品参数 |
- 压力表量程：-0.1-0.15MPa - 通气管道：Φ6.35mm的聚四氟管 - 选配：浮子流量计量程可选配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制 |
| 外形尺寸 | 长610mm宽610mm高710mm |
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