小型井式坩埚炉
小型井式坩埚炉有常规井式坩埚炉和真空井式坩埚炉。小型井式坩埚炉具有炉温均匀，温控精度高，装载量大，装卸料操作方便，生产效率高。
真空井式坩埚炉为小型井式坩埚电阻炉，真空坩埚炉是由不锈钢坩埚、石英坩埚或刚玉坩埚和不锈钢法兰组成。真空坩埚炉可用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物，退火或扩散半导体晶片，也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。中小型机件的热处理用。
真空井式坩埚炉有1000℃真空井式坩埚炉、1200℃真空井式坩埚炉。
真空井式坩埚炉参数说明
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电炉型号 |
STR-VCM-12 |
STR-VCM-14 |
STR-VCM-17 |
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工作温度 |
＞1200℃ |
＞1400℃ |
＞1700℃ |
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加热元件 |
电阻丝 |
硅碳棒 |
硅钼棒 |
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测温元件
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K型热电偶 |
S型热电偶 |
B型热电偶 |
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控温方式 |
51段可编程自动控制，PID调节控温精度 |
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升温速率 |
0-10℃ |
0-20℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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真空度 |
-0.08MPa |
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炉膛材料 |
氧化铝陶瓷纤维板 |
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炉壳 |
双层炉壳，风冷结构（炉底安装两个散热风扇），炉壳表面温度低于60度 |
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额定功率 |
1KW—8KW |
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常用炉膛尺寸 |
Φ240xH220mm；Φ40xH300mm；Φ60xH300mm； Φ80xH300mm；Φ100xH300mm；Φ120xH300mm (可按需定制) |
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温控程序对应符号及其意义：
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提示符 |
输入数据 |
意义 |
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C 01 |
0 |
起始温度值 |
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t 01 |
60 |
从0~300℃的升值时间为60分钟 |
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C 02 |
300 |
一个目标温度值 |
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t 02 |
10 |
300℃保温时间10分钟 |
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C 03 |
300 |
二个目标温度值 |
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t 03 |
240 |
从300~1500℃的升值时间为240分钟 |
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C 04 |
1500 |
三个目标温度值 |
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t 04 |
30 |
1500℃恒温时间10分钟 |
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C 05 |
1500 |
四个目标温度值 |
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t 05 |
260 |
从1500~200℃的升值时间为260分钟 |
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C 06 |
200 |
五个目标温度值 |
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t 06 |
－121 |
程序运行结束，自然降温 |
常见故障及故障排除
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故障现象 |
故障原因 |
排除方法 |
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打开控制电源开关Lock无电源指示 |
控制线路FU1 4A保险丝断 |
检查有无短路排除后更换保险丝 |
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绿色Power指示灯灭，红色Open circuit指示灯亮。 |
主电路FU2 32A保险丝断 |
检查有无短路排除后更换保险丝 |
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电压最大，无电流。 |
硅钼棒断裂 |
更换硅钼棒 |
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仪表SV交替显示OraL |
热电偶断路 |
更换热电偶 |
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仪表SV交替显示HIAL |
炉体超过上限温度1700℃仪表起保护 |
温度降至安全温度后仪表自动恢复正常（检查超温原因） |
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电源及硅钼棒都正常，但炉体不能升温 |
控制线路损坏 |
通知专业维修人员。 |
