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小型PECVD设备:石墨烯生长炉石墨烯生长炉
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小型PECVD设备:石墨烯生长炉

  • 厂家: 西格马
  • 别称:石墨烯生长炉
  • 温度:1200℃
  • 规格:SGM-TF60-12-4Z
  • 类型:高温管式炉
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    石墨烯生长炉为实验室用小型PECVD设备,该小型PECVD设备可用于石墨烯生长等。石墨烯制备机是由1200度开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。

    主要功能特点:
    1、PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等;
    2、真空系统由旋片真空泵和数显真空计组成,设计高真空可达10Pa;
    3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;触屏操作,操作简单方便。
    4、采用KF快速法兰密封,装卸方便快捷;管路采用世界卡套连接,不漏气;

    主要技术参数:

    产品名称 石墨烯生长炉PECVD设备
    开启式滑轨管式炉部分
    产品型号 SGM-TF60-12-4Z
    炉管尺寸 Φ60mmX1600mm
    加热区 300mm
    工作温度 1100℃
    设计温度 1200℃
    温控方式 K型热电偶
    控制方式 温度控制系统采用触屏操作,人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能并可编制 30 段升降温程序;
    控温精度 ±1℃
    温控保护 具有超温和断偶保护功能
    升温速率 0-20ºC/min  ,建议10ºC/min
    加热元件 含钼电阻丝
    工作电压 AC 220V 单相 50HZ 
    加热功率 3KW
    炉膛材料 氧化铝多晶纤维
    密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
    炉体结构 滑轨结构,可以实现快速降温
    炉  管 石英炉管
       
      真空系统部分
    名称 真空系统
    主要参数
    1. 采用旋片真空泵和数显真空计组成,真空度可达10Pa
    2. KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;
    3. 数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5-1500mbar,测量精度可达0.1mbar,测量不同气体种类不需要系数转换
     
    气路系统部分
    名称 四路质量流量计
    主要参数 四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示。流量范围流量范围:
    1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调
    2.一个混气罐
    3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;
    4.进出气口:4进1出
    流量控制:手动旋转式调节
    连接方式:双卡套连接
    等离子电源部分
    名称 500W等离子电源
    功率范围 0-500W(连续可调)
    工作频率 13.56MHZ+0.005%
    工作模式 连续输出
    功率稳定度 ≤2W
    设计大反射功率 70W
    电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
    供电电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ
    冷却方式 风冷
    整机重量 13.5KG
    随机赠送 石英管1支、坩埚钩、炉塞、密封圈、水冷机、硅胶管、内六角扳手、说明书、保修卡等
    售后服务 整机质保一年,终身保修(加热元件、密封圈等随机赠送配件不属于质保范围)

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