产品名称

    1200℃双温立式炉

技术参数

    1、电源：AC 208V-240V  50Hz/60Hz

    2、设计功率：3KW

    3、石英管：外径Ø100mm，内径Ø95mm，长1000mm

    4、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆，可延长期使用寿命

    5、加热区域：总长400mm，温区I为200mm，温区II为200mm（两个温区可设置同样的温度）

    6、工作温度：每个温区加热温度1200℃（<1h），连续工作1100℃

   7、加热速率：≤20℃/min

    8、控温精度：±1℃

    9、热电偶：K型热电偶进行测温

    10、真空度：10-2torr（机械泵），10-5torr（分子泵）

    11、漏气率：<5mtorr/min

产品规格

　尺寸：不含移动架600mm×400mm×530mm

　重量：90kg（不含移动架）

可选配件

    1、304不锈钢法兰

    2、防腐型数字式真空显示计

    3、KF25转接头（可增加抽气速率，获得较高的真空）

    4、VCR双卡套接头（可工作在惰性气体或还原气体条件下）

    5、高温丝（掺钼铁铬铝，可达1100℃）

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通风装置：需要

注意事项

    1、立式双温管式炉炉管内的正压不可高于0.02Mpa。

    2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。建议在本司选购减压阀。本司减压

　　　阀量程为0.01Mpa-0.1Mpa，使用时会更加精度安全。

    3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

    4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

    5、石英管的长时间使用温度<1100℃。

    6、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关

　　　注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂、法兰飞出

　　　等）。