1400℃高真空氢气炉

一、设备结构与工作原理

1. 炉壳：双层304/316L水冷套，外壁<55℃，满足氢气防爆要求。
2. 炉膛：
   • 1400℃以下常用“高纯Al₂O₃多晶纤维+钼丝/硅碳棒”三面加热；
   • 若高真空或温度偶尔冲到1500℃，选钼箔+全金属屏反射结构，获得10⁻⁴Pa高真空与<10ppm低氧。
3. 真空机组：双级旋片泵+罗茨泵+分子泵，冷态极限6.7×10⁻⁴Pa，30min内可抽到5×10⁻³Pa以下。
4. 氢路系统：
   • 进气：MFC质量流量控制器，0–10L·min⁻¹可调；
   • 尾气：正压燃烧嘴或负压点火塔，带火焰检测、熄火2s内自动切断并充N₂。
5. 控制：PLC+触摸屏，30段可编程，PID控温精度±1℃，带升温速率限制、断偶、超温、过流联锁。

二、主要技术参数（以市场主流1400℃机型为例）

三、典型工艺应用

• 粉末冶金：钨-铜、钼-铜高比重合金脱脂-烧结一体；
• 3D打印金属：316L、Ti-6Al-4V件去氧、除碳；
• 电子/光学陶瓷：AIN、BeO基板在<5ppm O₂下无压烧结；
• 贵金属：铂、铑、铼回收料的氢还原与退火；
• 钎焊/扩散焊：不锈钢-陶瓷、钨-铜等异种材料高真空钎焊。

四、安全与认证

1. 防爆：炉体按GB3836、ATEX隔爆要求设计，带爆破片＋防爆膜二级泄压；
2. 气体监测：炉内氧探头＋氢气检漏仪，O₂>1%或H₂泄漏>10ppm立即停氢-充氮；
3. 燃烧排放：尾气点火塔带阻火器与UV火焰监测；
4. 联锁：真空度未达10⁻²Pa以上拒绝开氢；温度>80℃拒绝开启炉门；
5. 认证：出厂做氦质谱检漏<5×10⁻¹⁰Pa·m³·s⁻¹，附《氢炉防爆合格证明》。