设备名称

等离子气相沉积PECVD系统

管式炉部分

加热区长度

300mm/440mm/600mm/1200mm（可选）

加热区段数

单温区/双温区/三温区/四温区/五温区/多温区/（可选）

炉管直径

直径60mm/80mm/100mm/120mm/125mm/230mm（可选）

工作温度

≦1100℃

额定温度

1200℃

测温元件

K型热电偶

温控系统

30段PID微电脑可编程自动控制

保温温控精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

升温速率

0-20?C/min

加热元件

高电阻电热合金丝OCr27A17Mo

工作电压

AC 220V 单相 50HZ 

炉膛材料

采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好

炉  管

高纯石英管

炉壳温度

≤45℃

   真空系统部分

名称

旋片泵/扩散泵组/分子泵组（可选）

主要参数

真空泵真空度6.67*10-3Pa（包含KF25接口和可移动箱体）

真空显示

四川成都睿宝数显真空计，实时显示真空度

真空显示量程

其测量范围为1×105--1×10-5pa

气路系统部分

名称

质量流量计

气路

2路/3路/4路/5路/6路多路（可选）

流量控制

液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单控制

链接方式

双卡套接头

流量计

质子流量计

流量范围

MFC范围:  0~500 sccm（可选）

控制精度

±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别

工作环境温度

5℃-45℃

等离子射频器部分

名称

射频自动匹配器

型号

VERG-500+VENA-500

匹配功率范围

0-500W

工作频率

13.56MHZ+0.005%

正常工作反射功率

＜3W

匹配时间

＜3S

传输效率

＞90%

匹配器电源

AC220V/50-60HZ

输入连接器

N型

输出连接器

UHF

控制模式

手动/自动

可设预置点数

7

匹配阻抗范围

实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)

匹配器尺寸

340X230X130 MM

提供相关配件

气路一套，数显真空计1个，真空泵一台、炉堵2对，高密封法兰1对，石英管1根，密封圈4对，高温手套1对，坩埚钩1把，真空泵连接管件1套，拆卸法兰六角扳手1把，保修卡说明书1份等

电气认证

欧盟CE认证  IS90001质量体系认证

售后保障

12个月（易损件除外）