1200度滑道式PECVD系统设备

滑道式PECVD系统设备系统简介

西格马PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, PECVD系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）等。

滑道式PECVD系统设备由1200度滑动式管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源组成。滑动式管式炉的炉体可以沿底部轨道左右获得，了实现快速降温。

滑道式PECVD系统设备功能特点

1、滑道式管式炉的加热元件采用掺钼合金加热丝，系统组成。炉膛保温材料采用多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显于国内纤维材料。

2、整个CVD涂层化学气相沉积的炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。

4、炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了。

5、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。

滑道式PECVD系统设备结构

设备名称	等离子气相沉积PECVD系统
管式炉部分
加热区长度	300mm/440mm/600mm/1200mm（可选）
加热区段数	单温区/双温区/三温区/四温区/五温区/多温区/（可选）
炉管直径	直径60mm/80mm/100mm/120mm/125mm/230mm（可选）
工作温度	≦1100℃
额定温度	1200℃
测温元件	K型热电偶
温控系统	30段PID微电脑可编程自动控制
保温温控精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20?C/min
加热元件	高电阻电热合金丝OCr27A17Mo
工作电压	AC 220V 单相 50HZ
炉膛材料	采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好
炉管	高纯石英管
炉壳温度	≤45℃
真空系统部分
名称	旋片泵/扩散泵组/分子泵组（可选）
主要参数	真空泵真空度6.67*10-3Pa（包含KF25接口和可移动箱体）
真空显示	四川成都睿宝数显真空计，实时显示真空度
真空显示量程	其测量范围为1×105--1×10-5pa
气路系统部分
名称	质量流量计
气路	2路/3路/4路/5路/6路多路（可选）
流量控制	液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单控制
链接方式	双卡套接头
流量计	质子流量计
流量范围	MFC范围: 0~500 sccm（可选）
控制精度	±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别
工作环境温度	5℃-45℃
等离子射频器部分
名称	射频自动匹配器
型号	VERG-500+VENA-500
匹配功率范围	0-500W
工作频率	13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率	＜3W
匹配时间	＜3S
传输效率	＞90%
匹配器电源	AC220V/50-60HZ
输入连接器	N型
输出连接器	UHF
控制模式	手动/自动
可设预置点数	7
匹配阻抗范围	实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)
匹配器尺寸	340X230X130 MM
提供相关配件	气路一套，数显真空计1个，真空泵一台、炉堵2对，高密封法兰1对，石英管1根，密封圈4对，高温手套1对，坩埚钩1把，真空泵连接管件1套，拆卸法兰六角扳手1把，保修卡说明书1份等
电气认证	欧盟CE认证 IS90001质量体系认证
售后保障	12个月（易损件除外）

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