小型预热法硫化钼制备管式炉
前端预热法硫化钼制备管式炉为小型二维硫化钼生长设备，前端预热器在二硫化钼实验中，可对硫，磷等固态源进行加热蒸发。
该二维材料生长设备由预热炉、反应炉、滑动底盘，真空系统、供气系统以及轨道支架五部分组成。前端配的预热炉能够用来预热蒸发固态源，反应炉能够提供反应所需的热环境。前端配有可加热到500℃的预加热器，辅助硫粉蒸发，后端为三温区硫化炉，温度控制精确，操作简便。同时搭配三路质量流量计系统，可以精确控制实验所需的气体流量，低真空机组可以满足抽真空的需求。
两台电炉均安装在滑轨支架上，可以实现快速升降温，提升实验效率。炉管内配有热电偶测温，可以准确控制反应条件。所有电路均采用高清全彩触摸屏控制，操作简单直观易于上手。
供气系统采用两路质量流量计，流量控制精密，操作简单直观；真空系统采用高品质双极旋片真空泵，真空度可达1.0E-1Pa，完全满足CVD晶体生长实验的需要。
二维硫化钼生长设备用途：
二维硫化钼生长设备主要应用于二维材料的CVD法生长实验，尤其适合二维硫化钼的制备。
二维硫化钼生长设备技术参数：
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预热炉 |
产品型号 |
CVD100-12M |
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炉膛长度 |
300mm |
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加热区长 |
200mm |
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恒温区长 |
100mm |
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工作温度 |
0～1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段或50段程序控温 |
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显示模式 |
LCD（高清全彩触摸屏） |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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单温区管式炉 |
产品型号 |
CY-O1200-100I-T |
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炉膛长度 |
440mm |
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加热区长 |
400mm |
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恒温区长 |
200mm |
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工作温度 |
0～1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段或50段程序控温 |
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显示模式 |
LCD（高清全彩触摸屏） |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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炉管 |
炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管长度 |
φ100mm x 1800mm |
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密封方式 |
304不锈钢真空水冷法兰 |
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法兰接口 |
1/4英寸卡套接头 |
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供气系统 |
两路质子流量计 |
北京七星华创，质子流量计 |
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流量范围 |
MFC1量程：0~200SCCM MFC2量程：0~200SCCM |
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测量精度 |
±1.5%F.S |
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重复精度 |
±0.2%FS |
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线性精度 |
±1%F.S. |
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响应时间 |
≤4s |
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工作压力 |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
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流量控制 |
LED高亮数码管显示，按键调节 每路气体含有针阀单独控制 |
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进气接口 |
可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 |
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出气接口 |
可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 |
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连接方式 |
双卡套接头 |
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工作温度 |
5~45℃ |
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气体预混 |
配气体预混装置 |
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排气系统 |
机械泵 |
旋片泵 |
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抽气速率 |
4L/S |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
电阻规 |
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极限真空 |
1.0E-1Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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抽气接口 |
KF16 |
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轨道 |
轨道长度 |
1.8m~2m 能实现两个炉子一个炉位长度的滑动，实现快速升降温 |
| 尾气处理系统 | 前端液封安全瓶+后端为NaOH溶剂吸收 瓶 |
双级尾气处理气体，前端做一个液封安全瓶;后端为NaOH溶剂吸收瓶。瓶体为304不锈钢材质，内喷四氟。 |
小型预热法硫化钼制备管式炉的前端配有可加热到500℃的预加热器，辅助硫粉蒸发，后端为硫化炉，温度控制精确，操作简便。并配有气氛微调装置，可以准确的反应腔体内部的气体压力，带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用，重复性好。
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