小型预热法硫化钼制备管式炉

前端预热法硫化钼制备管式炉为小型二维硫化钼生长设备，前端预热器在二硫化钼实验中，可对硫，磷等固态源进行加热蒸发。

该二维材料生长设备由预热炉、反应炉、滑动底盘，真空系统、供气系统以及轨道支架五部分组成。前端配的预热炉能够用来预热蒸发固态源，反应炉能够提供反应所需的热环境。前端配有可加热到500℃的预加热器，辅助硫粉蒸发，后端为三温区硫化炉，温度控制精确，操作简便。同时搭配三路质量流量计系统，可以精确控制实验所需的气体流量，低真空机组可以满足抽真空的需求。

两台电炉均安装在滑轨支架上，可以实现快速升降温，提升实验效率。炉管内配有热电偶测温，可以准确控制反应条件。所有电路均采用高清全彩触摸屏控制，操作简单直观易于上手。

供气系统采用两路质量流量计，流量控制精密，操作简单直观；真空系统采用高品质双极旋片真空泵，真空度可达1.0E-1Pa，完全满足CVD晶体生长实验的需要。

二维硫化钼生长设备用途：

二维硫化钼生长设备主要应用于二维材料的CVD法生长实验，尤其适合二维硫化钼的制备。

二维硫化钼生长设备技术参数：

预热炉	产品型号	CVD100-12M
	炉膛长度	300mm
	加热区长	200mm
	恒温区长	100mm
	工作温度	0～1100℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	LCD（高清全彩触摸屏）
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
单温区管式炉	产品型号	CY-O1200-100I-T
	炉膛长度	440mm
	加热区长	400mm
	恒温区长	200mm
	工作温度	0～1100℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	LCD（高清全彩触摸屏）
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
炉管	炉管材质	高纯石英
	炉管长度	φ100mm x 1800mm
	密封方式	304不锈钢真空水冷法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头
供气系统	两路质子流量计	北京七星华创，质子流量计
	流量范围	MFC1量程：0~200SCCM MFC2量程：0~200SCCM
	测量精度	±1.5%F.S
	重复精度	±0.2%FS
	线性精度	±1%F.S.
	响应时间	≤4s
	工作压力	-0.15Mpa~0.15Mpa
	流量控制	LED高亮数码管显示，按键调节每路气体含有针阀单独控制
	进气接口	可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管
	出气接口	可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管
	连接方式	双卡套接头
	工作温度	5~45℃
	气体预混	配气体预混装置
排气系统	机械泵	旋片泵
	抽气速率	4L/S
	排气接口	KF16
	真空测量	电阻规
	极限真空	1.0E-1Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
	抽气接口	KF16
轨道	轨道长度	1.8m~2m 能实现两个炉子一个炉位长度的滑动，实现快速升降温
尾气处理系统	前端液封安全瓶+后端为NaOH溶剂吸收瓶	双级尾气处理气体，前端做一个液封安全瓶;后端为NaOH溶剂吸收瓶。瓶体为304不锈钢材质，内喷四氟。

小型预热法硫化钼制备管式炉的前端配有可加热到500℃的预加热器，辅助硫粉蒸发，后端为硫化炉，温度控制精确，操作简便。并配有气氛微调装置，可以准确的反应腔体内部的气体压力，带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用，重复性好。

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