立式流化床管式炉是一款流化床立式CVD系统,专门针对粉末实验。立式流化床管式炉仪器采用先进的PID智能控温,控温精度在±1℃。
流化床立式管式炉可以进行颗粒悬浮,SGM流化床立式管式炉是由洛阳西格马高温电炉生产的一款小型开启式立式管式炉,其炉管直径为φ30/50mm可选,适合于对样品在真空或气氛保护环境下吊烧和淬火。如果选用不同的配件与装置搭配,其也可以当作一款流化床立式管式炉来使用,可专门针对粉末表面沉积的CVD实验。此时,在高纯石英炉管内部嵌有哟多孔石英砂板芯,其孔径在5-15um内。烧结的粉末放置在砂芯层上,气体从炉管下端法兰处通入,通过砂芯层使样品颗粒在气流的带动下悬浮在加热区域(一般稳定在恒温区内),进行沉积实验。
流化床立式管式炉专门针对粉末表面沉积的CVD实验,炉管为高纯石英管,炉管内部嵌有一多孔石英板,石英板的孔径为5-15um.粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验。
1、炉体上、下端设计有法兰支撑平台;
2、炉体设计为开启式,以方便与更换炉管;
3、反应气体和均匀地通过反应区
4、固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内
5、炉体开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,取出反应后的颗粒。
注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量
6、双层壳体结构并带有风冷系统
7、炉体设计为开启式,以方便放样和取样
8、采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有美国1760度高温氧化铝涂层,可延长仪器使用寿命和提高加热效率
电炉名称 | 流化床立式管式炉 |
多孔石英板 |
孔径:5~15 um 尺寸:44mm I.D x 4mm t |
额定功率 |
1.2KW |
输入电源 |
AC220V 单相, 50/60 Hz |
额定工作温度 |
1200℃ |
连续工作温度 |
1100℃ |
额定升温速率 |
<= 20 oC /min |
炉管尺寸和材料 |
采用高纯石英炉管 炉管尺寸:50mm; ID: 44mm; L: 6加厚
|
加热区 |
200mm(单温区) |
恒温区 |
100mm(+/-2oC) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 |
温控系统 |
可设置30段升温,保温和降温程序。 采用PID方式来调节温度,并带有过热和断偶保护 控温精度:+/- 1 ºC 控温仪表操作视频 |
加热元件 |
掺钼铁铬铝合金 |
密封法兰 |
仪器中配有一对不锈钢密封法兰,上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表 |
外形尺寸 |
340mm×300mm×1000mm ( W x L x H) |
重量 |
约20kg |
质保期 |
一年质保期(不包含炉管、密封圈和加热元件) |
应用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 由对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |
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