1200度四路混气高温真空CVD设备-洛阳西格马高温电炉

1200度四路混气高温真空CVD设备

1200度四路混气高温真空CVD设备由1200度三温区滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,温度可以达到1200度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计,可以对多种气体进行精度的混气,然后导入到管式炉内部。

1200度快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100°C/m。为取得设计快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得设计快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的不错炉子。

四路混气高温真空CVD设备应用范围:

1200度四路混气高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的高温设备。

四路混气高温真空CVD设备规格参数:

设备名称 1200度四路混气高温真空CVD设备
额定温度 1200°C
长期工作温度 1100°C
加热速率 建议:0- 10°C/min (额定:0-20℃/min)
加热区 三温区
加热区长度 200+350+200mm
控温精度 ±1°C
炉管直径 OD60mm
炉管长度 大约1200mm-1400mm
真空法兰 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装数字式真空显示计,和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr,泄漏率额定6 mtorr/min
温控 智能PID多段程序控温
加热曲线 30段可编程
功率 4KW
电压 220V,50HZ,单相
质子流量计 4路浮子流量计:
MFC 1范围:  0~100 sccm
MFC 2范围:  0~200 sccm
MFC 3范围:  0~200 sccm
MFC 4范围:  0~500 sccm
气路:4路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4" 卡套
一个混气罐。
每路气路都有一个立的不锈钢针阀控制。 
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。

 

标准配件:

4路混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、刚玉炉塞2对、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、高温手套1副、刚玉坩埚2个、氢气检漏器1个、说明书1份

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