产品详情

转动式PECVD系统设备是由洛阳西格马生产的可360度旋转和0-30度倾斜的可倾斜管式炉PEcvd设备。混气系统可选二路、三路、五路。
PEcvd可倾斜回转炉采用双层壳体结构，标配30段程序控温系统，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的烧结设备产品。

转动式PECVD系统产品描述：

转动式PECVD系统可360度旋转和0-30度倾斜，管内壁有石英挡片帮助材料翻转有助于烧结或镀膜更加均匀。炉膛采用日本氧化铝纤维材料。

转动式PECVD系统技术参数：

1、型号：SGM RTL1200-PECVD

2、炉管尺寸：Dia60(OD)X1400mm

3、加热元件：瑞典Kanthal-A1电阻丝

4、额定温度：1200℃

5、长期温度：1100℃

6、热电偶：K型

7、加热段：440mm

8、转动电机功率：40W

9、炉子倾斜角度：-10~30度

10、转动密封方式：采用转动磁流体密封

11、视频电源：功率输出范围0-500W

12、更大反射功率：10W

13、射频电信号频率：13.56MHZ±0.005%
14、功率：3.5KW

西格马回转炉结构特点：

一、控温仪表：采用宇电程序控温仪表。（可选配日本岛电，英国欧陆等品牌）

1、30段程序控温智能PID调节。（可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表）

2、具有过温保护、断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路会自动切断，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能。

二、开门保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者。

三、炉膛材料：采用氧化铝多晶纤维材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件：采用良的加热元件，温场均衡、使用寿命长。

五、漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统（选购）：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

七、控制系统：
1、电器：正泰，
2、可控硅：德国西门康106/16E，
3触发器：移相触发。

八、选配件：
1、50段程序控温，
2、液晶触摸屏控制器或温度控制器
3、炉膛尺寸可定做

4、可增加进气、排气阀门
5、炉膛材料可选材料6、可选UL认证电器板

7、电器部分可选配ABB产品
8、可根据客户需求定做各种非标型号产品