洛阳西格马高温电炉可生产PECVD系统 、管式气相沉积炉、井式气相沉积炉。PECVD系统由管式炉,石英真空室、真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。
PECVD系统主要应用于金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,石墨烯等生长。
PECVD系统增加功能容易,可扩展等离子清洗刻蚀等功能,PECVD系统薄膜沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高等点。
RF射频电源主要技术参数 | 功率输出范围 | 0-500W |
额定反射功率 | 200W | |
工作频率 |
射频13.56MHZ±0.005% | |
功率稳定度 | +/-0.1% | |
谐波分量 | ≤-50dbc | |
射频区域宽度 | 0-600mm可调 | |
匹配方式 | 自动 | |
冷却方式 | 风冷 | |
噪声 | <50dB | |
射频接口 | 50Ω N-type | |
输入电源 | 208-240V 50/60HZ |
质量流量计 |
量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) |
|
耐压 | 3MP | ||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
额定工作(使用)压力 |
0.3MPa |
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线性 | ±0.5%F.S. | ||
重复精度 | ±0.2%F.S | ||
路数 |
1、2、3、4、5、6、7、8路(可任意选择几路) | ||
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | ||
系统工作压力范围 | 0.1~0.5:MPa | ||
工作温度 | 5-45℃ | ||
压力真空表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
静态混气室 | Dia50X400MM | ||
接口 |
Dia6 /1/4” |
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