主要技术参数
1、电炉名称:2000度高温升降炉
2、电炉结构:升降式底出料
3、设备尺寸:≈1300*1600*1800MM(长×宽×高)
4、加热形式:钨网电阻加热
5、加热功率:60KW±10%
6、工作区尺寸:Φ200×250MM
7、设计温度:2000℃
8、常用温度: 1800℃(以此温度为验收标准)
9、温场均匀度:≤±5℃
10、极限真空度:6.67×10^-4PA(空炉、冷态、经净化)
11、控温精度:±1℃
12、压升率:≤1.0PA/H
13、控温仪表:PID程序控温仪
14、测温方式:钨套管钨铼热电偶
15、控制方式:手动/PLC自动联锁保护控制
16、装料方式:底部升降式装料
17、保护气氛:氩气或高纯氮气,压力≤0.03MPA(可调)
结构特点
1、炉体
炉体为双层水冷结构,内、外壁均采用304材质,并经仔细的抛光,表面光滑,有利于缩短抽气时间,且便于清洁,中间通水冷却,确保炉壁低温。炉体的侧部安设有水冷电极,炉体上设有一观察窗。炉体设有真空抽气接口、电极接口、充气接口等。
2、炉盖
炉体为双层水冷结构,内、外壁均采用304材质,并经仔细的抛光,表面光滑,有利于缩短抽气时间,且便于清洁,中间通水冷却,炉盖上设有观察窗、排气接口等。
3、炉底
炉底由法兰和水冷夹套组焊而成,中间通水冷却。炉底设置密封槽,保证炉体与炉底密封可靠。
4、托盘及物料升降系统
托盘上设有物料支撑系统,物料放置在支撑系统上。托盘的运动自5.加热与保温系统
加热器采用高纯钨网,保温屏采用多层钨钼反射屏,由里向外分别是多层高纯钨屏、多层高纯钼屏、多层高温不锈钢屏材料组成隔热屏保温结构,组合成封闭式的空间,因此,工作区温度均匀,热量散失少。保温屏固定在不锈钢框架上,围绕在加热室外侧布置,以保证对工件迅速而均匀地加热。
6、加热电极
加热电极为专门设计的紫铜水冷电极,不但能保证与炉体的良好密封和绝缘,而且与引入电源连接线的接触良好,拆卸方便,电极中的水冷装置能够降低导电接头的温度,防止烧毁真空密封材料,以致影响炉内真空度。新型的电极结构避免了长时间使用发生铜管腐蚀及焊口腐蚀而漏水的现象。
7、温控系统
测温元件采用采用钨铼型热电偶,测量范围室温至2000度,配合宇电温度控制仪进行温度闭环控制,热电偶测量的温度并供给温度控制器控制信号,从而调整功率调控器的输出,从而控制变压器的输出大小,以满足系统的控温需求。此外,在保温屏外侧,设有监测热电偶,当系统超温时,通过控制系统及时切断加热电源,确保设备安全。
8、真空系统
真空系统采用一台F-250/1500分子泵、一台TPR-48直联式机械泵。此外,包括气动高真空挡板阀、真空管路、真空规管、真空压力表等。
真空管道与泵的连接采用CF连接,确保无漏点保证高真空的实现。真空测量由数显复合式真空计测量。
9、充气装置
充气装置(不含气体干燥、气体过滤及尾气处理系统)主要由充气阀、流量计、充气管道、排气阀等组成,用于工艺所需充氢气、氮气的气氛要求,充气压力≤0.03MPA(微正压、表压)。
10、变压器及连接电缆
采用与之相匹配的变压器及连接水冷电缆或铜排。
11、水冷系统
由不锈钢管路、各种阀、测温装置、水流量计及管道相关装置组成,具有关键位置冷却水超温,断水声、光报警并执行相应的保护动作,并预留备用水接口,对于设备正常稳定运行提供保障。
12、控制系统
该系统由可控硅调压器和温度可编程序控制器组成的温度可编程序控制和由PLC、电器件组成的机械动作可编程序控制两部分组成,可实现:
工艺过程可编程序控制。
机械动作可编程序控制。
模拟板清晰显示设备的运行状态。
温度、真空度、压力能通过电脑打印出全面工艺曲线或报告。
具有水压、超温、过流、超压等故障预先报警和联锁保护功能,实现故障自诊断及监控功能。
实现全自动操作并兼有一套手动操作功能。
可控硅调压器采用大电流、低电压供电方与式智能控温仪表配合,可实现温度的连续调节。
采用可编程序控制器对机械动作进行控制,可实现抽空、开启阀门等动作的全部自动控制。
测量周期内能完成全部通道的测量和监视工作。
通过外部存储卡使数据得到双重保护,通过PC软件,对保存在存储卡的数据进行处理、打印和转换成用户所需的格式。
设有故障自诊断功能,能及时显示故障源并且有声光报警和自保护功能,从而使操作简单、易学、易使,能使操作者很快的熟悉该设备的使用和维护。
控制系统形成以热电偶、智能化温控仪、可编程序控制器(PLC)、功率调功器、加热变压器、真空计为核心构成包括供电、控制、记录、监视、报警保护功能在内的电控系统。
13、安全保护系统
超压保护-充气阀自动关闭、并配以声、光报警。超温保护-加热电源自动关闭、并配以声、光报警。
断水保护-加热电源自动关闭、并配以声、光报警。
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