石英炉管：石英中常见的元素
石英炉管
石英中的众多元素影响了石英的品质。在半导体用石英玻璃和光导纤维中，微量的铝会促进光导石英玻璃纤维析晶，铝和硼结合增强石英玻璃的析晶作用。重金属和扩散系数大的钠、钙、钾等碱金属能降低半导体的使用寿命，影响石英玻璃的热学特性和光学特性，降低石英玻璃的使用温度，增大石英玻璃的介电系数和介电损失，降低石英玻璃的机械强度和光的传播速度等。
常见石英中有害杂质元素如下：单位（ ppm ）
当前东海透明石英玻璃管产品杂质含量指标如下：单位（ ppm ）
|
铝Al |
硼B |
钙Ca |
铬Cr |
铜Cu |
铁Fe |
钾K |
锂Li |
镁Mg |
锰Mn |
钠Na |
钛Ti |
|
16 |
0.8 |
0.8 |
0.1 |
0.1 |
1.2 |
2 |
0.5 |
0.4 |
0.1 |
2.3 |
0.1 |
超纯原料要求尽力处理杂质至如下指标：单位（ ppm ）
|
铝Al |
硼B |
钙Ca |
铬Cr |
铜Cu |
铁Fe |
钾K |
锂Li |
镁Mg |
锰Mn |
钠Na |
镍Ni |
|
8 |
0.1 |
0.5 |
0.05 |
0.05 |
0.2 |
0.1 |
0.2 |
0.05 |
0.05 |
0.1 |
0.05 |
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