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气体流量控制系统又称多路气体混气系统，有浮子流量计混气系统、质子流量计混气系统。混气路数有两路、三路、四路、五路。该混气系统可为管式炉提供具有可控气氛的实验环境。
多路混气系统需要配真空气氛电炉一起使用，便于方便快捷、准确记录气体累积流量。可用于企业实验室，大专院校，科研院所等单位选用。

三路浮子混气系统特点：
1、方便的气路快速连接口，简化了流量控制系统与其他设备的链接。
2、配置有三种接口（宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口），方便组合多种连接方式。
3、采用玻璃转子流量控制器，能直观地设定气体流量，方便使用（气体浮子流量控制系统）。
4、采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，响应速度快，稳定可靠等特点（气体质量流量控制器） 。
5、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。
6、采用混气灌装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄漏。
 

真空管式炉CVD系统

等离子体增强滑动式多路混气真空管式炉CVD系统

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