产品详情

SGM-TF6014-12-3Z实验室PECVD设备为小型化学气相沉积设备。

该小型化学气相沉积设备是由SGM-TF6014-12单温区管式炉、高真空系统、3路质子流量计、射频电源系统系统组成,。

实验室PECVD设备主要用于石墨烯生长等研究。

技术参数：

产品名称	SGM-TF6014-12-3Z小型化学气相沉积设备
高温管式炉部分
产品型号	SGM-TF6014-12
炉管尺寸	Φ60mmX1400mm
工作温度	1100℃
设计温度	1200℃
温控方式	K型热电偶
温控系统	30段PID微电脑可编程自动控制（用户可选配液晶触摸屏显示）
温控精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
蕞快升温速率	30oC/M
加热元件	含钼电阻丝
工作电压	AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制）
设计功率	3KW
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好可保证12小时压力表指针不偏转。
炉  管	石英炉管
炉壳温度	≤45℃
真空系统部分
名称	高真空分子泵
主要参数	高真空分子泵组，高真空复合真空计 前级泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接
真空显示	复合真空计
冷却系统	循环水冷机
气路系统部分
名称	3路质子流量计
型号	D07-26
主要参数	基准源：+5.00V±0.1% 10mA~供电源220V±10%  50Hz
射频器部分
名称	射频自动匹配器
匹配功率范围	0-500W
工作频率：	13.56MHZ
正常工作反射功率	＜3W
匹配时间	＜3S
传输效率	＞90%
匹配器电源	AC220V/50-60HZ
输入连接器	N型
输出连接器	UHF
控制模式	手动/自动
可设预置点数	7
匹配阻抗范围	实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)
匹配器尺寸	340X230X130 MM
整机重量	5.5KG

TAG:小型化学气相沉积设备 
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