小型PECVD设备：石墨烯生长炉
- 品牌：SGM
- 类型：高温电炉系列
- 温度：1200
- 规格：SGM-TF60-12-4Z
产品详情
石墨烯生长炉为实验室用小型PECVD设备，该小型PECVD设备可用于石墨烯生长等。石墨烯制备机是由1200度开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。
主要功能特点：
1、PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等；
2、真空系统由旋片真空泵和数显真空计组成，设计高真空可达10Pa；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；触屏操作，操作简单方便。
4、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界卡套连接，不漏气；
主要技术参数：
主要功能特点：
1、PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等；
2、真空系统由旋片真空泵和数显真空计组成，设计高真空可达10Pa；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；触屏操作，操作简单方便。
4、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界卡套连接，不漏气；
主要技术参数：
| 产品名称 | 石墨烯生长炉PECVD设备 |
| 开启式滑轨管式炉部分 | |
| 产品型号 | SGM-TF60-12-4Z |
| 炉管尺寸 | Φ60mmX1600mm |
| 加热区 | 300mm |
| 工作温度 | 1100℃ |
| 设计温度 | 1200℃ |
| 温控方式 | K型热电偶 |
| 控制方式 | 温度控制系统采用触屏操作，人工智能调节技术，具有 PID 调节、自整定功能并可编制 30 段升降温程序； |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
| 升温速率 | 0-20ºC/min ，建议10ºC/min |
| 加热元件 | 含钼电阻丝 |
| 工作电压 | AC 220V 单相 50HZ |
| 加热功率 | 3KW |
| 炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
| 密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。 |
| 炉体结构 | 滑轨结构，可以实现快速降温 |
| 炉 管 | 石英炉管 |
| 真空系统部分 | |
| 名称 | 真空系统 |
| 主要参数 |
|
| 气路系统部分 | |
| 名称 | 四路质量流量计 |
| 主要参数 |
四通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示。流量范围流量范围： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可调 2.一个混气罐 3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体； 4.进出气口：4进1出 流量控制：手动旋转式调节 连接方式：双卡套连接 |
| 等离子电源部分 | |
| 名称 | 500W等离子电源 |
| 功率范围 | 0-500W（连续可调） |
| 工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 工作模式 | 连续输出 |
| 功率稳定度 | ≤2W |
| 设计大反射功率 | 70W |
| 电源保护设置 | DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 |
| 供电电压/频率 | 单相交流（187V-253V）50-60HZ |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 整机重量 | 13.5KG |
| 随机赠送 | 石英管1支、坩埚钩、炉塞、密封圈、水冷机、硅胶管、内六角扳手、说明书、保修卡等 |
| 售后服务 |
整机质保一年，终身保修（加热元件、密封圈等随机赠送配件不属于质保范围） |
TAG:石墨烯生长炉
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