产品详情

 SGM-PECVD60-11-4z小型可滑动管式PECVD系统为实验室用1100度可滑动管式PECVD系统设备。小型可滑动管式PECVD系统是有1100度开启式滑轨管式炉、真空系统、4路质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术是借助于辉光放电（等离子体）使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜技术生长的一种系的制备技术。我公司依据实验要求设计制作该款设备以适应各类薄膜研究的需要。

主要特点：
1、采用专业加热元件，炉膛保温材料采用多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显于国内纤维材料。
2、整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度达到设计高点，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
4、超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠具有多重防护功能。
5、PECVD管式炉系统由：射频电源，管式炉加热区系统，质子流量计供气系统，真空系统,气体定量系 统组成。

产品参数：
 

产品名称		小型可滑动管式PECVD系统
产品型号		SGM-PECVD60-11-4z
500W 射频电源
匹配功率范围		0-500W+1%可调
工作频率		13.56MHZ +- 0.005%
反射功率		200W
匹配方式		自动
输出接口		UHF或N型或7/16(L29)
冷却		强制风冷
电压频率		220V 50Hz
匹配阻抗范围		实部0-80Ω 虚部-j200~+j200(可根据负载调节阻抗)
管式加热系统
滑道	带滑道，可手动滑动炉膛，实现快速升温或冷却功能
加热区长度	300mm
炉管尺寸	60mm x1600mm 外径x长
炉管材质	高纯石英管  （SiO2 ≥ 99.99%）
工作温度	≤1100℃
温控系统	智能化30段PID微电脑可编程自动控制
温控精度	±1℃（具有超温及断偶报警功能）
加热速率	建议0~10℃/min
加热元件	电阻丝
额定电压	单相220V 50Hz
可通气体	氮气、氩气等惰性气体
测温元件	热电偶测温
壳体结构	双层壳体结构带风冷系统
真空法兰	法兰一端带1/4”卡套接头进气口，60转KF50快装法兰。另一端带控压阀,气动泄压阀和放气阀。
供气系统	四路精密质子流量计： 测量精度：±1.5% F.S. 流量范围:  0~200 sccm（含10%甲烷的氩气） 流量范围:  0~200 sccm（含10%甲烷的氩气） 流量范围:  0~200 sccm（氩气） 流量范围:  0~500 sccm（含10%甲烷的氩气） 通过触屏来调节气体流量
真空系统	旋片泵，真空度在空炉冷态可达10pa， 真空计：数显真空计实时显示真空度，精度高。
控压系统	控压范围 -20kpa 到 20kpa （也可按客户要求设计）
自动化控制 15”触摸屏	触摸屏界面集成控制炉子，真空泵，质量流量计以及射频电源。炉子部分需要先设好温度时间曲线。集成控制部分可以控制温度曲线的启停，真空度，气体流量，射频功率和射频启停,泄压阀等。
标准配件	数显真空计2个，石英炉塞1对，高密封法兰1对，氟胶密封圈2对，高温坩埚钩1把，拆卸法兰六角扳手1把，保修卡说明书1份
备注	法兰，质量流量计，阀门，管路等用316不锈钢材质

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