1200℃滑动双温区PECVD系统-洛阳西格马高温电炉

1200℃滑动双温区PECVD系统

  • 品牌:SGM
  • 类型:高温电炉系列
  • 温度:1200
  • 规格:

产品详情

1200℃滑动双温区PECVD系统为实验室用小型多温区PECVD,1200℃滑动双温区PECVD系统炉体具有2个温区,每个温区可立温控。

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电(等离子体)使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜技术生长的一种系的制备技术。我公司依据实验要求设计制作该款设备以适应各类薄膜研究的需要。

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成:

PECVD系统配置:

1、1200度开启式双温区真空管式炉

2、等离子射频电源

3、多路质量流量控制系统

4、真空系统(可选配中真空或高真空)

主要功能特点:
1、采用质加热元件,炉膛保温材料采用多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显于国内纤维材料。
2、整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度达到设计高点,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。
4、超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能。
5、PECVD管式炉系统由:射频电源,管式炉加热区系统,质子流量计供气系统,真空系统,气体定量系 统组成。

常规型号参数:

系统名称 1200C滑动双温区PECVD系统
系统型号 SGM PECVD60-12II4H-3Z SGM PECVD100-12II6H-3Z
设计温度 1200*C
加热区长度 420mm 600mm
恒温区长度 280mm 390mm
温区 双温区 双温区
石英管管径 50/60/80mm 80/100mm
额定功率 3. 2Kw 4. 8Kw
额定电压 220V 220V
滑动方式 手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动。当程序完成,炉子按设定的速度滑动)
温度控制 国产程序控温系统30段程序控温
控制精度 ±1*C
炉管设计高工作温度 V1200C
气路法兰 采用多环密封技术卡箍快速连接
排风冷却装置 先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
气体控制方式 质量流量计(按键式)
气路数量 3路(可根据具体需要选配气路数量)
流量范围 OYOOsccm (标准汽升/分,可选配)氮气标定
精度 ± 1%E. S
响应时间 Isec
工作温度(流盘计) 5-45*C
工作压力 进气压力0. 05-0. 3Mpa (表压力)
进气方式 采用防倒流设计
规格 中真空 高真空
系统真空范围 10Pa-100Pa  10-1PA,10-3Pa
真空泵 翁整|鹘傩矗魏耨磷镰 看油污过馥器,额定电压220V,功率0.55Kw 真空分子泵理论极限真空度5x106Pa抽气速率 1600L/S额定电压220V功率2K*
信号频率 13. 56MHz ±0. 005%
功率输出范围 0-500W连续可调
设计大反射功率 120W
射频输出接口 50 Q, N-type, temale
功率稳定度 ±0. 1%
谐波分量 W-50dbe
供电电压 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ
整机功率 270%
屏幕显示 正方向功率,匹配器电容位置,偏置电压值
整机尺寸 483 X 500 X 88mm
炉体外形尺寸 340X580X555mm 480X770X605mm
系统外形尺寸 530X2310X750nun 530X2310X 750mm (不含高真空)
系统总重量 270kg 350kg


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