双管气相沉积管式炉-洛阳西格马高温电炉
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双管气相沉积管式炉

  • 品牌：SGM
  • 类型：高温电炉系列
  • 温度：
  • 规格：

产品详情

气相沉积是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应。
双管气相沉积管式炉具有两个炉管
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