快速退火炉简称 RTP退火炉,不但拥有非常快的升温速率,而且在烧结工艺运行完结后,直接将试样移动至室温下(也可选通过滑动炉体实现快速降温。),实现物理状态下的快速降温。内部加热部件采用红外加热管,升温速率快。
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体,加之强风冷设计,可对样品进行快速升降温处理;温控精度高,设计大升温速率50℃/s;紧凑的台式设计,快速连接法兰,减少了炉管因安装造成损坏的可能,方便操作。
快速退火炉一般都是以碘钨灯管为发热元件,升温速度极快,采用S型热电偶测温并采用国际的模糊PID控制,具有很高的控温精度〈±5℃〉,快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。标准配件需:高温手套1付,热电偶1根,石英管1根,真空法兰1套。可选配件:氧化铝坩埚,石英坩埚,真空泵。
SGM RTP快速退火炉:坩埚支架可以通过导轨移动
炉膛可滑动 RTP退火炉:炉体可以通过导轨移动
电炉名称 | SGM RTP小型快速退火炉 |
电炉型号 | RTP-G11103-K |
设计温度 | 1000°C |
连续工作 | 950°C(<1 小时) |
加热区长度 | 300mm |
恒温区长度 | 100mm |
加热元件 | 红外灯管 红外卤素钨灯 |
温度控制 | 国产程序控温系统可编程50段程序控温; |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ110*380MM |
炉管材质 | 石英管 |
滑动距离 | 355mm |
滑动方式 | 手动滑动 |
建议升温速度 |
室温900℃:30℃/sec 900℃~1000℃: 10℃/sec |
退火环境 | 真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等); |
真空泵及极限压力 | 机械泵,10-3Torr水平(选配); |
额定功率 | 9KW |
额定电压 | 220AC 50/60Hz |
重量 | 45Kg |
标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。 |
1、炉子初次使用或长时间不用后,要在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后使用,以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度,以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属,保持炉内的清洁。
2、炉膛若采用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明现象,这叫失透(又叫析晶性)是连熔石英管的一个固有缺陷,属正常现象。
3、冷炉使用时,由于炉膛是冷的,须大量吸热,所以低温段升温速率不易过快,各温度段的升
温速率差别不易太大,设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质,以免出现喷料现象,污染炉管。
4、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好,应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。
5、炉子使用过一段时间后,若真空度降低,可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统,以提高系统的整体真空度。
6、炉子在工作过程中,一般在300℃左右若控制偏差还不能消除,出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大,检查参数“M5、P、t”设置是否准确。
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