1200度五温区回转CVD设备\五温区回转炉CVD系统
回转CVD设备特点:
1、回转CVD设备提供一个五温区的超长温场,五个温区可立控制(可选双温区、三温区)
2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,上下可电动开启。
3、流量计和加热采用模块化设计,便于维护保养。
4、加热元件采用康泰尔掺钼合金电阻丝,使用温度可以达到1200度,使用寿命长,温场流场均匀。
5、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。
6、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便。
回转CVD设备组成:
加热系统,炉管转动系统,螺旋送料系统、供气系统、真空系统、温控及操作系统。
1、加热系统:
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了加热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。
高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。
2、炉管转动系统:
炉管转动系统可以让炉管360度匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。
3、螺旋送料器:
先将样品储存于样品罐中,通过螺旋送料器将样品送入石英管内。样品送完之后送料杆退回到原始位置。周而复始,达到自动送料。
4、供气系统:
供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成,触摸屏控制。
5、真空系统:
真空机组,内部安装BSV-60机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。