1700度立式流化床管式炉\1700℃硫化炉
硫化炉介绍
SGM1700度立式流化床管式炉为洛阳西格马高温电炉生产的管式电阻炉,又称高温硫化炉,高温硫化炉是一款流化床立式CVD系统,专门针对粉末实验。
流化床立式管式炉是由支撑架,下箱体和加热炉体组成,炉管为高纯刚玉管,炉管内部嵌有一个微孔陶瓷板,粉末可以放在微孔陶瓷板式,气体从炉管下端通入,通过微孔陶瓷板是样品粉末悬浮在加热区域,进行实验。
加热炉膛内垂直设置有炉管,炉管下端设置下密封法兰,下密封法兰的一侧设有进气口,另一侧设置一支撑装置,支撑装置用于支撑下塞砖,炉管上端设置有一上密封法兰,上密封法兰的一侧设有出气口,另一侧设置一吊塞砖装置,吊塞砖装置用于固定上塞砖,在上塞砖和下塞砖之间设置有一多孔板;第二安装区设可调节高度的支架,支架与下密封法兰的一侧连接。
炉管为高纯刚玉管,炉管内部配置一嵌有一多孔刚玉板的刚玉舟,刚玉板的孔径可单定制。.粉末可放在多孔刚玉板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔刚玉板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验。
洛阳西格马高温电炉可生产真空硫化炉、管式硫化炉、立式管式炉、垂直管式炉、颗粒悬浮立式管式炉。温度范围1000℃、1200℃、1700℃,炉管直径有φ30mm、50mm、80mm可选。
立式流化床管式炉主要用途:
可用于粉末实验,流化床立式管式炉可用于对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出刚玉管,取出反应后的颗粒。
注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等。
硫化炉技术参数
电炉名称 | 立式流化床管式炉/硫化炉 |
额定温度 | 1700℃ |
加热速率 |
0~ 20℃ /min, 建议 10℃/ min |
热电偶类型 |
B型热电偶 |
炉管尺寸和材料 |
1、炉子包含一根刚玉管,带微孔陶瓷板,并有足够的空间来进行粉末实验 2、尺寸:外径1加厚,内径100mm,长度1000mm |
密封法兰 |
1、底部法兰:水冷设计,搭配100mm炉管使用,带有1/4英寸的气体接口 2、上部法兰:水冷设计,搭配100mm炉管使用,带有进气和出气接口 |
加热温区 |
单温区600mm长 |
恒温区 |
300mm长,恒温区内温差±2℃ |
温度控制 |
1、PID 全自动控制加热速率,冷却速率以及保温时间 2、PID 控制超温保护和短偶保护 3、超温保护和报警功能使该设备可在无人看管的情况下运行 4、温度精度在±1℃(就是显示的和实际温度差、 |
加热元件 |
硅钼棒 |
气体接口 |
上下法兰均设置有用来连接气体的1/4英寸大小的气体接口 |
设备规格 |
800mm×800mm×1000mm ( W x L x H) |
净重量 |
约120Kg左右 |
质保时间 |
一年 |