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1700度二通道混气高真空CVD系统:二路质子混气系统和高真空机组

SGM1700度二通道混气高真空CVD系统是由洛阳西格马高温电炉研发生产的的二通道高真空CVD系统,1700度二通道混气高真空CVD系统是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精度的混气,然后导入到管式炉内部。
洛阳西格马高温电炉可生产1200度二通道混气高真空CVD系统、1700度二通道混气高真空CVD系统、1200度双温区三通道混气高真空CVD系统、1200度三双温区三通道混气高真空CVD系统。

高真空CVD系统可配置选项:

温度:1200℃、1700℃
温区:单温区、双温区、三温区
炉型:开启式管式炉、滑轨式管式炉、可旋转管式炉(回转炉)
混气系统:双通道、三通道、四通道、五通道
流量计:浮子混球系统、质子混气系统
附件:进料系统

高真空CVD系统应用:

高真空CVD系统是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的专用设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。

1700度二通道混气高真空CVD系统技术参数

TF-1700度管式炉 壳体

1、采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度 < 55°C.

2、内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

3、保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,减少热量的损失

4、真空泵和气体混合系统位于移动架上,方便移动

5、仪器上已经安装高真空法兰,阀门,高真空机组

炉管

6、材质: 高纯氧化铝陶瓷管

7、 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上

(标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length

(选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length

功率 6KW
工作电压 AC 208-240V单相, 50/60Hz
加热元件 8 根1800°C grade MoSi2 heating element
工作温度

额定温度.: 1700°C

连续工作温度.: 1600°C

升温速率 ≤5°C/min
加热区长度

加热区长度: 457 mm (18")

恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

温控系统

采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序

控温精度: ±1°C

控温仪表操作视频

热电偶: B 型,已经安装在炉内

真空法兰

一对不锈钢真空密封法兰已经安装

法兰上带有一机械压力表

两个精密针阀

一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口

一个1/4"卡套接头

外形尺寸 550 x 380 x 520mm
高真空机组 功率 100~110W
工作电压 AC 208-240V单相, 50/60Hz
外形尺寸 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
壳体

壳体尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

额定承载量:600 Lbs on top

分子泵控制面板:LCD 数字显示

内装有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

控制面板

一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动)

系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

   
抽气速率

N2 33 L/s

He 39 L/s (2340L/minute)

H2 32 L/s

工作范围 1000 mbar to <1E-7 mbar
极限 <1E-8 mbar (without any leaking )
MFC 质量流量控制器 壳体

采用 316不锈钢制作

混气箱尺寸: Φ80X120mm

外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

MFC控制面板 (Click to enlarge),可根据客户要求定制

功率 18W
工作电压 AC 208-240V, 单相, 50/60Hz
质保期 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件
可认证 CE 认证
所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证
   



当前文章:1700度二通道混气高真空CVD系统:二路质子混气系统和高真空机组
高真空CVD系统 生产厂家哪家好? 洛阳高温箱式炉厂家供应商为专业的高真空CVD系统 生产厂家,多年来致力于高温设备研发生产,积累了丰富的行业经验和技术实力。产品有高温电炉、高真空CVD系统 、真空气氛炉、气氛管式电炉、气氛烧结炉、高温真空炉、热震炉、箱式电炉等。可根据客户需求提供个性化定制解决方案。

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