4路质子混气管式PECVD系统设备\1200℃ PECVD furnace
4路质子混气管式PECVD系统设备是由洛阳西格马高温电炉研发生产的PECVD系统设备。4路质子混气管式PECVD系统设备由SGM开启式管式炉、 等离子射频电源、4路质子混气系统,真空系统组成。
4路质子混气管式PECVD系统设备1200℃ PECVD furnace
设备名称 |
4路质子混气管式PECVD系统 |
主要特点 |
1、内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。 2、辉光放电等离子体中电子密度可达109-1012cm3。 3、电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍。 4、配有高精度数字显示质量流量计,可准确地控制气体流量。 5、一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀。 6、不锈钢针阀安装在左侧部分,可手动控制混合气体的输入。 |
技术参数 |
开启式管式炉 1、电源:AC220V 4KW 2、炉管:Φ50mm,Φ60mm,Φ80mm都可用 3、温度控制器:30段高精度数字可编程温度控制器 4、加热区:440mm 5、恒温区:150mm |
等离子射频电源 1、输入功率:AC220V 1KW 2、输出功率:50-500W可调,±1% 3、RF频率:13.56MHz可调,±0.005%稳定 4、噪声:≤55DB 5、冷却:风冷 |
|
真空泵和质量流量计 1、真空度:10-3torr 2、波纹管:KF25系列 3、质量流量计:0-200,误差0.02%,进气口采用国际标准双卡头 |
|
产品规格 |
尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,供气及真空系统600mm×600mm×1250mm 重量:约120kg |
可选配件 |
防腐型数字式真空计 |