1200℃三温区真空管式炉CVD系统|1200度CVD系统设备
SGM1200℃三温区真空管式炉CVD系统是由洛阳西格马高温电炉研发生产的实验室用高温管式炉,三温区真空管式炉CVD系统具有三个温区,可以立控温,炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料,采用电阻丝为加热元件。加热元件与炉管平行,均匀地分布在炉管外,有效的保证了温场的均匀性。测温采用性能稳定、长寿命的“K”型热电偶,直接和式样接触,以提高控温的精度性。真空管式炉能够快速开启,快速升降温,方便客户对特殊材料的装载,烧制和观察。炉体的控制面板配有智能温度调节仪,控制电源开关、主加热工作/停止按钮,工作状态指示灯,以便随时观察本系统的工作状态。
作为专业的1200℃三温区真空管式炉CVD系统|1200度CVD系统设备厂家,洛阳
三温区真空管式炉CVD系统主要用途:
三温区真空管式炉CVD是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品. ,广泛用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积(CVD)工艺等。三温区真空管式炉CVD系统技术参数:
电炉名称 | 规格 | 三温区真空管式炉CVD系统 |
三温区真空回转炉 | 炉管尺寸 |
炉管材质:310S 尺寸:Φ245*210*750mm |
主要参数 |
额定温度: 1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变) 工作温度: 900℃(配套金属管为310S才是) 推荐升温速率:≤10℃/min 加热区长度: 750mm 额定功率:7KW 电压:单相AC 208 - 240V, 50Hz |
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炉体结构 |
采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度小于60度 保温材料采用高纯氧化铝纤维,可以环保节能,减少热量的损失 内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 三个温区,可以立控温 真空机组和气体流量供气系统位于移动加上,方便移动. |
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温控系统 |
模糊PID控制和自整定调节功能 智能化30段可编程控制 具有超温及断偶报警功能 控温精度: ±1 ℃ K型热电偶 可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购) |
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温控仪表(可选) | 标配仪表品牌为宇电,可指定其他品牌温控仪表,如岛电等。 | |
管堵 | 多种规格管堵,防止来自内部管子的热辐射,管堵在加热前必须完全放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求 | |
密封系统 |
该设备炉管为单端封口设计,法兰安装于一端,侧开门式设计。(包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头) 如需获得较高的真空度,建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计(需另外订购) 出气端配备磁流体密封装置,容许设备在连续真空条件下工作。 备注:本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口,可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。 出气端预留KF25接口,方便连接真空泵,KF16接口,方便连接数显真空计,以及Φ9气嘴接头,以便出气 |
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扩展端口 | 如进气管道为橡胶软管,则需将进气口更换成Φ9气嘴接头 | |
真空度 |
双极旋片机械泵:10^-1Pa 分子泵机组:10^-3 Pa 可选配本公司配套高低真空 |
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外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
净重 | 40Kg | |
真空系统 LVU-10 |
壳体尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
额定承载量 | 1000 Lbs | |
抽气速率 |
10m³/h 极限真空度:10-1Pa 双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接 |
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质保期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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相关应用 |
炉膛内衬可以单更换(额外付费) 可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子 |
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应用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |