1

产品名称

1200℃单温区经济型两路气体CVD系统

2

常规型号

SGM-O1200-50IC150-D2FH

3

SGM-O1200-60IC150-D2FH

4

SGM-O1200-80IC150-D2FH

5

SGM-O1200-100IC150-D2FH

6

炉膛模式

开启式

7

显示模式

高亮数码管显示(LED)

8

炉膛材料

纤维

9

加热元件

合金加热丝

10

极限温度

1200℃

11

工作温度

≤1150℃

12

升温速率

≤20℃(建议:10℃/min)

13

加热温区

单温区

14

温区长度

440mm

15

恒温区长

200mm

16

炉管材质

高纯石英

17

炉管常规直径

50mm

18

60mm

19

80mm

20

100mm

21

炉管长度

1000mm

22

密封方式

不锈钢真空法兰

23

气 密 性

真空法兰和石英炉管的气密性额定可达4.03×10-3Pa

24

控制模式

智能PID多段程序控温

25

控温精度

±1℃

26

温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

27

预存曲线

可预存1条温度曲线

28

电流监控

指针式电流计

29

电压监控

指针式电压计

30

超温报警

有

31

过流保护

有

32

断偶提示

有

33

测温元件

K型热电偶

34

电气认证

CE认证

35

供电电源

220V 50Hz～60Hz

36

整机功率

2.5KW

37

气体通道

可连接3种气源

38

流 量 计

浮子流量计

39

A路量程

10～100ml/min

40

B路量程

16～160ml/min

41

气路压力

-0.1～0.15 MPa

42

系统真空 

5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）

43

泵路链接

KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀

44

真 空 计

标准配置机械真空计，也可选配电子真空计

45

售后服务

12个月质保，终身保修

46

包装形式

木箱或简装

47

随机配件

石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。

48

整套尺寸

左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm