PECVD系统增强型化学气相沉积

PECVD系统简介

PECVD系统是为了使传统的化学气象沉积（CVD）反应温度降低，在普通 CVD 装置的前端加入 RF 射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，进而利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统（PECVD）。
该型号 PECVD 为我公司设计新款，综合了国内大多数厂家的管式 PECVD 系统的点，在 PECVD 前端加入了气体预热区，实验证明此结构沉积速度快，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。
控制部分采用了我公司自主研发的实验电炉全自动智能控制系统，使得操作更加简便，功能更加强大。

PECVD系统主要特点

气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；
智能控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制统一集中调节和操控，协调控制；
管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。
智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；
射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，系统自动运行；
炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；
整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。
技术参数

高真空PECVD设备主要技术参数：

产品名称	高真空PECVD设备
滑轨管式炉部分（可选其他炉型：开启式管式炉）
产品型号	SGM TF1200-S5030-H
炉管尺寸	Φ50mmX1600mm
炉管材质	石英管
加热区	300mm
工作温度	1100℃
设计温度	1200℃
温控方式	K型热电偶
控制方式	触屏控制，带立摇臂，可以根据实际使用需求，调节温控屏的角度，使用更方便
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min ，建议10ºC/min
加热元件	含钼电阻丝
工作电压	AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制）
加热功率	3KW
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
炉体结构	炉体带滑轨，可实现快速升温和降温
法兰接头	标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
壳体	不锈钢壳体
选配	辅助降温风扇

真空系统部分

名称

真空系统

主要参数

1.采用高真空分子泵组，极限真空度可达10-3pa

2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；

3.数字式真空显示，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度高高

混气气路系统部分

名称

四路质量流量计（三、四、五路混气可选）

主要参数

四通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示，自动控制。流量范围流量范围：

1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可调

2.一个混气罐

3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体；

4.进出气口：3进1出

流量控制：手动旋转式调节

连接方式：双卡套连接

等离子电源部分

名称	500W等离子电源
功率范围	0-500W（连续可调）
工作频率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	连续输出
射频输出阻抗接口	N-type,female（50Ω）
功率稳定度	≤2W
额定反射功率	70W
电源保护设置	DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护
供电电压/频率	单相交流（187V-253V）50-60HZ
冷却方式	风冷
整机尺寸	88X483X550 MM
整机重量	13.5KG
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

PECVD系统等离子体化学气相沉积系统选型

项目	推荐选型
管式加热炉体	SGM 1200℃真空管式炉
炉膛温区	单温区管式炉、双温区管式炉、三温区管式炉、滑轨管式炉
石英反应炉膛	根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等规格可选。
真空系统	根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1（极限真空0.1Pa），GZK10-3（极限真空0.001Pa），以及质高真空机组（极限真空0.0001Pa）供选择。
质子流量供气系统	根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z，三路GQ-2Z，四路GQ-2Z，五路GQ-2Z或更多路供选择。
射频等离子源	根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300（300W），DLZ500（500W）或更大功率的射频电源供选择。
常见PECVD系统组合	1. 1200度60滑轨式微型管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，300W射频电源
	SGM G1200-60S-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ300
	2. 1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
	SGM G1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
	3. 1200度60双温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
	SGM G1200-60II-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
	4. 1200度60三温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
	SGM G1200-60III-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
	5. 1200度60微型预热炉，1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
	SGM G1200-60S，SGM G1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500