洛阳西格马箱式炉

全国统一服务热线

洛阳西格马箱式炉

热门关键词: PECVD系统 热循环高温炉 一体式陶瓷纤维马弗炉 陶瓷纤维马弗炉 瓷纤维马弗炉 负极材料箱式预碳化炉

PECVD系统 增强型化学气相沉积
您的位置:洛阳西格马箱式炉首页-操作说明-

PECVD系统 增强型化学气相沉积

PECVD系统简介  

 PECVD系统是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通 CVD 装置的前端加入 RF 射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,进而利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)。
该型号 PECVD 为我公司设计新款,综合了国内大多数厂家的管式 PECVD 系统的点,在 PECVD 前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。
控制部分采用了我公司自主研发的实验电炉全自动智能控制系统,使得操作更加简便,功能更加强大。

PECVD系统主要特点

气体预热——增加前端气体预热区,沉积速度更快,成膜效果更好;
智能控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制统一集中调节和操控,协调控制;
管内压力自动平衡——管内压力实时监测,自动平衡管内压力。
智能气路通断——每路气体均可定时通断,省时省力;
射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,系统自动运行;
炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离;
整机结构融为一体——移动方便,避免分散组装的困扰。
技术参数

高真空PECVD设备主要技术参数:

产品名称

高真空PECVD设备

滑轨管式炉部分(可选其他炉型:开启式管式炉)

产品型号

SGM TF1200-S5030-H

炉管尺寸

Φ50mmX1600mm

炉管材质

石英管

加热区

300mm

工作温度

1100℃

设计温度

1200℃

温控方式

K型热电偶

控制方式

触屏控制,带立摇臂,可以根据实际使用需求,调节温控屏的角度,使用更方便

控温精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

升温速率

0-20ºC/min  ,建议10ºC/min

加热元件

含钼电阻丝

工作电压

AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)

加热功率

3KW

炉膛材料

氧化铝多晶纤维

炉体结构

炉体带滑轨,可实现快速升温和降温

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。

壳体

不锈钢壳体

选配

辅助降温风扇


真空系统部分

名称

真空系统

主要参数

1.采用高真空分子泵组,极限真空度可达10-3pa

2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;

3.数字式真空显示,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度高高


混气气路系统部分

名称

四路质量流量计(三、四、五路混气可选)

主要参数

四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。流量范围流量范围:

1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调

2.一个混气罐

3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;

4.进出气口:3进1出

流量控制:手动旋转式调节

连接方式:双卡套连接


等离子电源部分

名称

500W等离子电源

功率范围

0-500W(连续可调)

工作频率

13.56MHZ+0.005%

工作模式

连续输出

射频输出阻抗接口

N-type,female(50Ω)

功率稳定度

≤2W

额定反射功率

70W

电源保护设置

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护

供电电压/频率

单相交流(187V-253V)50-60HZ

冷却方式

风冷

整机尺寸

88X483X550 MM

整机重量

13.5KG

认证

ISO认证、CE认证

售后服务

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)

 

PECVD系统等离子体化学气相沉积系统选型

项 目     推荐选型
  管式加热炉体    SGM 1200℃真空管式炉
  炉膛温区    单温区管式炉、双温区管式炉、三温区管式炉、滑轨管式炉
  石英反应炉膛    根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。
  真空系统     根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1(极限真空0.1Pa),GZK10-3(极限真空0.001Pa),以及质高真空机组(极限真空0.0001Pa)供选择。
  质子流量供气系统     根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z,三路GQ-2Z,四路GQ-2Z,五路GQ-2Z或更多路供选择。
  射频等离子源     根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300(300W),DLZ500(500W)或更大功率的射频电源供选择。
常见PECVD系统组合    1. 1200度60滑轨式微型管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,300W射频电源
    SGM G1200-60S-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ300
   2. 1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
    SGM G1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
   3. 1200度60双温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
    SGM G1200-60II-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
   4. 1200度60三温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
    SGM G1200-60III-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
   5. 1200度60微型预热炉,1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
    SGM G1200-60S,SGM G1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500

当前文章:PECVD系统 增强型化学气相沉积

产品推荐

热循环高温炉SGM-ACF系列

热循环高温炉又称 热循环高温加热炉、热循环高温箱式炉,SGM-ACF系列热循环高温炉广泛适于铝合金、铜材、钛材等大型材料构件的退火、固化、固溶退火、人工..

详细了解

1300度陶瓷纤维马弗炉:硅碳棒加热炉

1300度陶瓷纤维马弗炉是一种用于实验室和工业应用的高温箱式加热炉设备。1300度陶瓷纤维马弗炉采用陶瓷纤维作为主要的隔热材料,这种材料具有良好的耐高温性..

详细了解

1200度陶瓷纤维马弗炉:箱式陶瓷纤维电阻炉

1200度陶瓷纤维马弗炉为实验室用陶瓷纤维箱式马弗炉、陶瓷纤维电阻炉。1200度陶瓷纤维马弗炉采用陶瓷纤维炉膛,陶瓷纤维炉膛是一种专为提高烧结效率和安全性..

详细了解

1200度一体式陶瓷纤维马弗炉

1200度一体式陶瓷纤维马弗炉为实验室用小型人工智能型箱式电阻炉,1200度一体式陶瓷纤维马弗炉是一种高效、节能的实验室用高温马弗炉,1200度一体式陶瓷纤维..

详细了解

1200度陶瓷纤维马弗炉:智能马弗炉

1200度陶瓷纤维马弗炉为智能马弗炉,1200度陶瓷纤维马弗炉为实验室用人工智能箱式电阻炉,炉膛采用陶瓷纤维材质,加热温度可达1200℃。1200度陶瓷纤维马弗炉..

详细了解

1200度箱式负极材料预碳化炉:负极材料箱式预碳化炉

1200度箱式负极材料预碳化炉又称负极材料箱式预碳化炉,箱式预碳化炉采用智能温度控制系统,可以实现精确的温度控制,确保预碳化过程的稳定性和一致性。箱式..

详细了解
  • 高温电炉
  • 高温电炉
  • 高温电炉
  • 高温电炉
QQ在线客服
400免费热线:

咨询热线: