小型井式坩埚炉
小型井式坩埚炉有常规井式坩埚炉和真空井式坩埚炉。小型井式坩埚炉具有炉温均匀,温控精度高,装载量大,装卸料操作方便,生产效率高。
真空井式坩埚炉为小型井式坩埚电阻炉,真空坩埚炉是由不锈钢坩埚、石英坩埚或刚玉坩埚和不锈钢法兰组成。真空坩埚炉可用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物,退火或扩散半导体晶片,也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。中小型机件的热处理用。
真空井式坩埚炉有1000℃真空井式坩埚炉、1200℃真空井式坩埚炉。
真空井式坩埚炉参数说明
电炉型号 |
SGM-VCM-12 |
SGM-VCM-14 |
SGM-VCM-17 |
工作温度 |
>1200℃ |
>1400℃ |
>1700℃ |
加热元件 |
电阻丝 |
硅碳棒 |
硅钼棒 |
测温元件
|
K型热电偶 |
S型热电偶 |
B型热电偶 |
控温方式 |
51段可编程自动控制,PID调节控温精度 |
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升温速率 |
0-10℃ |
0-20℃ |
|
控温精度 |
±1℃ |
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真空度 |
-0.08MPa |
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炉膛材料 |
氧化铝陶瓷纤维板 |
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炉壳 |
双层炉壳,风冷结构(炉底安装两个散热风扇),炉壳表面温度低于60度 |
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额定功率 |
1KW—8KW |
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常用炉膛尺寸 |
Φ240xH220mm;Φ40xH300mm;Φ60xH300mm; Φ80xH300mm;Φ100xH300mm;Φ120xH300mm (可按需定制) |
温控程序对应符号及其意义:
提示符 |
输入数据 |
意义 |
C 01 |
0 |
起始温度值 |
t 01 |
60 |
从0~300℃的升值时间为60分钟 |
C 02 |
300 |
一个目标温度值 |
t 02 |
10 |
300℃保温时间10分钟 |
C 03 |
300 |
二个目标温度值 |
t 03 |
240 |
从300~1500℃的升值时间为240分钟 |
C 04 |
1500 |
三个目标温度值 |
t 04 |
30 |
1500℃恒温时间10分钟 |
C 05 |
1500 |
四个目标温度值 |
t 05 |
260 |
从1500~200℃的升值时间为260分钟 |
C 06 |
200 |
五个目标温度值 |
t 06 |
-121 |
程序运行结束,自然降温 |
常见故障及故障排除
故障现象 |
故障原因 |
排除方法 |
打开控制电源开关Lock无电源指示 |
控制线路FU1 4A保险丝断 |
检查有无短路排除后更换保险丝 |
绿色Power指示灯灭,红色Open circuit指示灯亮。 |
主电路FU2 32A保险丝断 |
检查有无短路排除后更换保险丝 |
电压最大,无电流。 |
硅钼棒断裂 |
更换硅钼棒 |
仪表SV交替显示OraL |
热电偶断路 |
更换热电偶 |
仪表SV交替显示HIAL |
炉体超过上限温度1700℃仪表起保护 |
温度降至安全温度后仪表自动恢复正常(检查超温原因) |
电源及硅钼棒都正常,但炉体不能升温 |
控制线路损坏 |
通知专业维修人员。 |