洛阳西格马箱式炉

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热门关键词: 小型PECVD 小型化学气相沉积设备 热循环高温炉 一体式陶瓷纤维马弗炉 陶瓷纤维马弗炉 瓷纤维马弗炉 负极材料箱式预碳化炉

实验室PECVD设备:小型化学气相沉积设备小型PECVD
  • 实验室PECVD设备:小型化学气相沉积设备小型PECVD

实验室PECVD设备:小型化学气相沉积设备

  • 厂家: 西格马
  • 别称:小型PECVD
  • 温度:1200℃
  • 规格:
  • 类型:高温管式炉
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  • 厂家电话:高温电炉
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    SGM-TF6014-12-3Z实验室PECVD设备为小型化学气相沉积设备。

    该小型化学气相沉积设备是由SGM-TF6014-12单温区管式炉、高真空系统、3路质子流量计、射频电源系统系统组成,。

    实验室PECVD设备主要用于石墨烯生长等研究。

    技术参数:

    产品名称

    SGM-TF6014-12-3Z小型化学气相沉积设备

    高温管式炉部分

    产品型号

    SGM-TF6014-12

    炉管尺寸

    Φ60mmX1400mm

    工作温度

    1100℃

    设计温度

    1200℃

    温控方式

    K型热电偶

    温控系统

    30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示)

    温控精度

    ±1℃

    温控保护

    具有超温和断偶保护功能

    蕞快升温速率

    30oC/M

    加热元件

    含钼电阻丝

    工作电压

    AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)

    设计功率

    3KW

    炉膛材料

    氧化铝多晶纤维

    密封系统

    该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好可保证12小时压力表指针不偏转。

    炉  管

    石英炉管

    炉壳温度

    ≤45℃

    真空系统部分

    名称

    高真空分子泵

    主要参数

    高真空分子泵组,高真空复合真空计

    前级泵2升每秒,分子泵600升每秒

    采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接 

    真空显示

    复合真空计

    冷却系统

    循环水冷机

    气路系统部分

    名称

    3路质子流量计

    型号

    D07-26

    主要参数

    基准源:+5.00V±0.1% 10mA~供电源220V±10%  50Hz

    射频器部分

    名称

    射频自动匹配器

    匹配功率范围

    0-500W

    工作频率:

    13.56MHZ

    正常工作反射功率

    <3W

    匹配时间

    <3S

    传输效率

    >90%

    匹配器电源

    AC220V/50-60HZ

    输入连接器

    N型

    输出连接器

    UHF

    控制模式

    手动/自动

    可设预置点数

    7

    匹配阻抗范围

    实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)

    匹配器尺寸

    340X230X130 MM

    整机重量

    5.5KG



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