产品名称

SGM-TF6014-12-3Z小型化学气相沉积设备

高温管式炉部分

产品型号

SGM-TF6014-12

炉管尺寸

Φ60mmX1400mm

工作温度

1100℃

设计温度

1200℃

温控方式

K型热电偶

温控系统

30段PID微电脑可编程自动控制（用户可选配液晶触摸屏显示）

温控精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

蕞快升温速率

30oC/M

加热元件

含钼电阻丝

工作电压

AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制）

设计功率

3KW

炉膛材料

氧化铝多晶纤维

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好可保证12小时压力表指针不偏转。

炉  管

石英炉管

炉壳温度

≤45℃

真空系统部分

名称

高真空分子泵

主要参数

高真空分子泵组，高真空复合真空计

前级泵2升每秒，分子泵600升每秒

采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接 

真空显示

复合真空计

冷却系统

循环水冷机

气路系统部分

名称

3路质子流量计

型号

D07-26

主要参数

基准源：+5.00V±0.1% 10mA~供电源220V±10%  50Hz

射频器部分

名称

射频自动匹配器

匹配功率范围

0-500W

工作频率：

13.56MHZ

正常工作反射功率

＜3W

匹配时间

＜3S

传输效率

＞90%

匹配器电源

AC220V/50-60HZ

输入连接器

N型

输出连接器

UHF

控制模式

手动/自动

可设预置点数

7

匹配阻抗范围

实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗)

匹配器尺寸

340X230X130 MM

整机重量

5.5KG