热门关键词: 小型PECVD 小型化学气相沉积设备 热循环高温炉 一体式陶瓷纤维马弗炉 陶瓷纤维马弗炉 瓷纤维马弗炉 负极材料箱式预碳化炉
SGM-TF6014-12-3Z实验室PECVD设备为小型化学气相沉积设备。
该小型化学气相沉积设备是由SGM-TF6014-12单温区管式炉、高真空系统、3路质子流量计、射频电源系统系统组成,。
实验室PECVD设备主要用于石墨烯生长等研究。
技术参数:
产品名称 |
SGM-TF6014-12-3Z小型化学气相沉积设备 |
高温管式炉部分 |
|
产品型号 |
SGM-TF6014-12 |
炉管尺寸 |
Φ60mmX1400mm |
工作温度 |
1100℃ |
设计温度 |
1200℃ |
温控方式 |
K型热电偶 |
温控系统 |
30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示) |
温控精度 |
±1℃ |
温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
蕞快升温速率 |
30oC/M |
加热元件 |
含钼电阻丝 |
工作电压 |
AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
设计功率 |
3KW |
炉膛材料 |
氧化铝多晶纤维 |
密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好可保证12小时压力表指针不偏转。 |
炉 管 |
石英炉管 |
炉壳温度 |
≤45℃ |
真空系统部分 |
|
名称 |
高真空分子泵 |
主要参数 |
高真空分子泵组,高真空复合真空计 前级泵2升每秒,分子泵600升每秒 采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接 |
真空显示 |
复合真空计 |
冷却系统 |
循环水冷机 |
气路系统部分 |
|
名称 |
3路质子流量计 |
型号 |
D07-26 |
主要参数 |
基准源:+5.00V±0.1% 10mA~供电源220V±10% 50Hz |
射频器部分 |
|
名称 |
射频自动匹配器 |
匹配功率范围 |
0-500W |
工作频率: |
13.56MHZ |
正常工作反射功率 |
<3W |
匹配时间 |
<3S |
传输效率 |
>90% |
匹配器电源 |
AC220V/50-60HZ |
输入连接器 |
N型 |
输出连接器 |
UHF |
控制模式 |
手动/自动 |
可设预置点数 |
7 |
匹配阻抗范围 |
实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗) |
匹配器尺寸 |
340X230X130 MM |
整机重量 |
5.5KG |
热循环高温炉又称 热循环高温加热炉、热循环高温箱式炉,SGM-ACF系列热循环高温炉广泛适于铝合金、铜材、钛材等大型材料构件的退火、固化、固溶退火、人工..
详细了解1300度陶瓷纤维马弗炉是一种用于实验室和工业应用的高温箱式加热炉设备。1300度陶瓷纤维马弗炉采用陶瓷纤维作为主要的隔热材料,这种材料具有良好的耐高温性..
详细了解1200度陶瓷纤维马弗炉为实验室用陶瓷纤维箱式马弗炉、陶瓷纤维电阻炉。1200度陶瓷纤维马弗炉采用陶瓷纤维炉膛,陶瓷纤维炉膛是一种专为提高烧结效率和安全性..
详细了解1200度一体式陶瓷纤维马弗炉为实验室用小型人工智能型箱式电阻炉,1200度一体式陶瓷纤维马弗炉是一种高效、节能的实验室用高温马弗炉,1200度一体式陶瓷纤维..
详细了解1200度陶瓷纤维马弗炉为智能马弗炉,1200度陶瓷纤维马弗炉为实验室用人工智能箱式电阻炉,炉膛采用陶瓷纤维材质,加热温度可达1200℃。1200度陶瓷纤维马弗炉..
详细了解1200度箱式负极材料预碳化炉又称负极材料箱式预碳化炉,箱式预碳化炉采用智能温度控制系统,可以实现精确的温度控制,确保预碳化过程的稳定性和一致性。箱式..
详细了解