产品名称 | 石墨烯生长炉PECVD设备 |
开启式滑轨管式炉部分 | |
产品型号 | SGM-TF60-12-4Z |
炉管尺寸 | Φ60mmX1600mm |
加热区 | 300mm |
工作温度 | 1100℃ |
设计温度 | 1200℃ |
温控方式 | K型热电偶 |
控制方式 | 温度控制系统采用触屏操作,人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能并可编制 30 段升降温程序; |
控温精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 | 0-20ºC/min ,建议10ºC/min |
加热元件 | 含钼电阻丝 |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ |
加热功率 | 3KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。 |
炉体结构 | 滑轨结构,可以实现快速降温 |
炉 管 | 石英炉管 |
真空系统部分 | |
名称 | 真空系统 |
主要参数 |
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气路系统部分 | |
名称 | 四路质量流量计 |
主要参数 |
四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示。流量范围流量范围: 1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调 2.一个混气罐 3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体; 4.进出气口:4进1出 流量控制:手动旋转式调节 连接方式:双卡套连接 |
等离子电源部分 | |
名称 | 500W等离子电源 |
功率范围 | 0-500W(连续可调) |
工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
工作模式 | 连续输出 |
功率稳定度 | ≤2W |
设计大反射功率 | 70W |
电源保护设置 | DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护 |
供电电压/频率 | 单相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷却方式 | 风冷 |
整机重量 | 13.5KG |
随机赠送 | 石英管1支、坩埚钩、炉塞、密封圈、水冷机、硅胶管、内六角扳手、说明书、保修卡等 |
售后服务 |
整机质保一年,终身保修(加热元件、密封圈等随机赠送配件不属于质保范围) |
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