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热门关键词: 小型可滑动管式PECVD系统 小型可滑动管式PECVD系统 天然石墨负极材料电磁除铁器 双料台升降炉 石英陶瓷坩埚 箱式小型可控气氛炉 气氛保护烧结炉
SGM-PECVD60-11-4z小型可滑动管式PECVD系统为实验室用1100度可滑动管式PECVD系统设备。小型可滑动管式PECVD系统是有1100度开启式滑轨管式炉、真空系统、4路质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术是借助于辉光放电（等离子体）使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜技术生长的一种系的制备技术。我公司依据实验要求设计制作该款设备以适应各类薄膜研究的需要。
主要特点：| 产品名称 |
小型可滑动管式PECVD系统 |
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| 产品型号 | SGM-PECVD60-11-4z | |
| 500W 射频电源 | ||
| 匹配功率范围 | 0-500W+1%可调 | |
| 工作频率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
| 反射功率 | 200W | |
| 匹配方式 | 自动 | |
| 输出接口 | UHF或N型或7/16(L29) | |
| 冷却 | 强制风冷 | |
| 电压频率 | 220V 50Hz | |
| 匹配阻抗范围 |
实部0-80Ω 虚部-j200~+j200(可根据负载调节阻抗) |
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| 管式加热系统 | ||
| 滑道 | 带滑道，可手动滑动炉膛，实现快速升温或冷却功能 | |
| 加热区长度 | 300mm | |
| 炉管尺寸 | 60mm x1600mm 外径x长 | |
| 炉管材质 | 高纯石英管 （SiO2 ≥ 99.99%） | |
| 工作温度 | ≤1100℃ | |
| 温控系统 | 智能化30段PID微电脑可编程自动控制 | |
| 温控精度 | ±1℃（具有超温及断偶报警功能） | |
| 加热速率 | 建议0~10℃/min | |
| 加热元件 | 电阻丝 | |
| 额定电压 | 单相220V 50Hz | |
| 可通气体 | 氮气、氩气等惰性气体 | |
| 测温元件 | 热电偶测温 | |
| 壳体结构 | 双层壳体结构带风冷系统 | |
| 真空法兰 | 法兰一端带1/4”卡套接头进气口，60转KF50快装法兰。另一端带控压阀,气动泄压阀和放气阀。 | |
| 供气系统 |
四路精密质子流量计： 测量精度：±1.5% F.S. 流量范围: 0~200 sccm（含10%甲烷的氩气） 流量范围: 0~200 sccm（含10%甲烷的氩气） 流量范围: 0~200 sccm（氩气） 流量范围: 0~500 sccm（含10%甲烷的氩气） 通过触屏来调节气体流量 |
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| 真空系统 |
旋片泵，真空度在空炉冷态可达10pa， 真空计：数显真空计实时显示真空度，精度高。 |
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| 控压系统 | 控压范围 -20kpa 到 20kpa （也可按客户要求设计） | |
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自动化控制 15”触摸屏 |
触摸屏界面集成控制炉子，真空泵，质量流量计以及射频电源。炉子部分需要先设好温度时间曲线。集成控制部分可以控制温度曲线的启停，真空度，气体流量，射频功率和射频启停,泄压阀等。 | |
| 标准配件 | 数显真空计2个，石英炉塞1对，高密封法兰1对，氟胶密封圈2对，高温坩埚钩1把，拆卸法兰六角扳手1把，保修卡说明书1份 | |
| 备注 | 法兰，质量流量计，阀门，管路等用316不锈钢材质 | |
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