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热门关键词: PECVD 小型PECVD 双炉体管式炉 双炉体加热炉 双炉体滑动管式炉 炉膛滑动管式炉 1100度小型自动搅拌马弗炉

实验室用PECVD:1200℃管式炉+PE射频电源​+三路质子流量控制系统

  • 品牌:SGM
  • 别称:PECVD
  • 温度:
  • 规格:
  • 类型:高温管式炉
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    小型PECVD系统为实验室用PECVD系统,小型PECVD系统是由1200℃管式炉、PE射频电源三路质子流量控制系统 、真空系统组成。

    PECVD高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,适合于科研单位的材料工艺研究。

    1200℃管式炉加热元件选用电阻丝加热,有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性。  

    实验室用小型PECVD系统主要针对实验石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。

      1、加热系统

    电炉名称

    1200℃开启式管式

    设计温度

    1200℃

    使用温度

    ≤1100℃

    炉膛有效尺寸

    φ50/φ100mm(炉管直径可根据实际需要定制。)

    炉膛材料

    氧化铝、高温纤维制品

    热电偶类型

    K型热电偶

    控温精度

    ±1℃

    控温方式

    30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7/10寸工控电脑内置PLC控制程序。

    加热长度

    230mm/440mm

    恒温长度

    100mm/200mm

    加热原件

    电阻丝

    供电电源

    单相,220V,50Hz

    2、PE射频电源

    功率输出范围

    0W~150/500W

    最大反射功率

    100W

    射频输出接口

    50 Ω, N-type, female

    功率稳定度

    ≤5W

    谐波分量

    ≤-50dbc

    供电电压

    单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

    整机效率

    >=70%

    功率因素

    >=90%

    冷却方式

    强制风冷

    功率输出范围

    0W~150/500W

    最大反射功率

    100W

    3、三路质子流量控制系统        

    连接头类型

    双卡套不锈钢接头

    标准量程(N2)

    50sccm,100sccm、500sccm(可根据用户要求定制)

    准确度

    ±1.5%F.S

    线性

    ±1%F.S

    重复精度

    ±0.2%F.S

    响应时间

    气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

    工作压差范围

    0.1~0.5 MPa

    最大压力

    3MPa

    接口

    Φ6,1/4''

    显示

    4位数字显示

    工作环境温度

    5~45高纯气体

    压力真空表

    -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    截止阀

    Φ6

    内外双抛不锈钢管

    Φ6

    连接头类型

    双卡套不锈钢接头

    4、低真空机组

    空气相对湿度

    ≤85%

    工作环境

    5℃~40℃

    工作电电压

    220V±10%  50~60HZ

    功率

    1KW

    抽气速率

    10m³/h

    极限真空

    5X10-1Pa

    工作压力范围

    1.01325X105~1.33X10-2Pa

    耐压值

    0.03MPa

    容油量

    1.1L

    进气口口径

    KF25

    排气口口径

    KF25

    噪音

    50dB

    连接方式

    采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

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